+7 (495) 664 22 07 baza@vacuumpro.ru

Прямоугольные фланцы

В некоторых видах применения удобно использовать фланцы некруглой формы. Один прямоугольный фланец, для которого существуют стандарты - это фланец, изготовленный согласно MESA (Архитектура стандартов модульного оборудования) или SEMI (Международные стандарты полупроводникового оборудования и материалов) [4]. Этот фланец был сконструирован для передачи заготовок интегральных схем через загрузочный шлюз в оборудовании для производства полупроводников. Клапаны с такими фланцами имеются в продаже.

В табл. 7 показан этот фланец, а также приведены некоторые основные размеры. Фланцы MESA герметизируются уплотнительными кольцами, и фланцевая пара скрепляется в одно целое с помощью зажимов с губками, используемыми для более крупных фланцев ISO, описанных ранее. Стандарт MESA определяет область уплотнения на поверхности фланца, а также то, что гладкий фланец без канавки уплотнительного кольца должен быть направлен в сторону транспортного модуля. Фланец, содержащий уплотнительное кольцо, по стандарту должен быть направлен в сторону кассеты или модуля обработки. Установочный штифт с одной из двух сторон окна содействует центровке фланцев. В стандарте MESA предусматривается два размера фланца: один для заготовок интегральных схем 200 мм и один для заготовок интегральных схем 300 мм. Конструкция фланца была адаптирована к другим размерам производителями элементов.

Таблица 7. Размеры прямоугольных фланцев MESA или SEMI для прохода заготовок интегральных схем 200 мм и 300 мм

размеры прямоугольных фланцев

Предполагаемый размер заготовки интегральной схемы

 Наружная ширина (W), дюймы (мм)

 Наружная высота (H), дюймы (мм)

Минимальная ширина окна (I), дюймы (мм)

 Высота окна (К), дюймы (мм)

Интервал фиксирующей шпильки (S), дюймы (мм)

Смещение фиксирующей шпильки (J), дюймы (мм)

8 дюймов

13,39

6,38

8,74

1,26

11,81

1,97

(200 мм)

(340)

(162)

(222)

(32)

(300)

(50)

12 дюймов

17,32

6,38

12,68

1,26

15,75

1,97

(300 мм)

(440)

(162)

(322)

(32)

(400)

(50)

Примечание: фланцы герметизируют уплотнительным кольцом; на рисунке показан фланец без канавки уплотнительного кольца. На фланцах ISO, герметизированных уплотнительным кольцом, герметизирующее усилие обеспечивается зажимами с губками.

Нет товаров, соответствующих выбору

Страница в разработке - прямо сейчас здесь нет актуальных товаров, соответствующих вашему выбору.
Но у нас есть эта техника. Поэтому свяжитесь с нами по телефону или Email за информацией.