+7 (495) 664 22 07 baza@vacuumpro.ru

Откачка с газовыделением

После включения системы в работу с помощью высоковакуумного насоса с постоянной скоростью Sd = 100Sr время для уменьшения давления от ps до рd = 10-2ps (газовыдением пренебрегаем) будет составлять:

$$t_{vd}=4.6V/S_{d} (24)$$

или, поскольку эти системы, как правило, имеют временную постоянную t = V/Sd = 0,4 с, давление будет падать от ps =0,2 мм рт. ст. по рd = 7*10-3 мм рт. ст. за приблизительно 2 с. Когда давление достигает pvSr/Sd = 3* 10-5мм рт. ст., затем оно снижается более медленно по мере того, как газовыделение и натекание становятся лимитирующими процессами. Выражением - [ V/(f0oA + S)](dp/dt) обычно можно пренебречь, когда давление уменьшается на другой коэффициент равный 3 или, как правило, давление при работающем высоковакуумном насосе меньше 10-5 мм рт. ст. Давление тогда выражается следующим уравнением

$$p=K_{fh}A/(f_{a} \sigma A + S_{d}) + p_{u}= (K_{fh}/t^{a}_{h})/(f_{a} \sigma + S_{d}/A) + p_{u}, (25)$$

где рu - это «предельное давление» (нижний предел давления) в силу натекания и течей из атмосферы; th - это время откачки в часах, а σ - вероятность прилипания к площади поверхности А. При комнатной температуре (298 К) значение/, (для воздуха) равно 11,7 л с-1*см-2. Для пустых камер с металлическими стенками, которые не были подвергнуты термической обработке водяной пар при значениях давления ниже 10 5 мм рт. ст. составляет 90% остаточных газов. Коэффициент закона эффузии fw для водяного пара при 298 К равняется 14,8 л* с-1 * см -2.

Для коррозионностойкой стали, как показано ниже, можно сделать допущение о том, что о равняется приблизительно 6*10-1 после 1 ч откачки, так что для камер с Sd/A < 1 (или R< 1000 см) выражением реадсорбции/»о = 0,089 для водяного пара пренебрегать нельзя по сравнению с Sd/A.

Предыдущие зависимости представлены на рис. 1, где показана кривая откачки типичной вакуумной системы при К=2000л, .S', = 50 л/с, А = 80 000 см2, Sd = 5000 л/с, Kfh= 10-7 мм рт. ст. см'-20=750 мм рт. ст., ps= 0,2 мм рт. ст.,р= 10-3 мм рт. ст., и предельном остаточном давлении рu = 10-7 мм рт. ст. с использованием диффузионного насоса, характеристика которого показана линией с точками.

Нет товаров, соответствующих выбору

Страница в разработке - прямо сейчас здесь нет актуальных товаров, соответствующих вашему выбору.
Но у нас есть эта техника. Поэтому свяжитесь с нами по телефону или Email за информацией.