Параметры газовыделения

Общая быстрота откачки вакуумной камеры

Типичная вакуумная установка или система состоит из главной вакуумной камеры известного объема V и открытой стенки площадью А из известного материала с известным состоянием поверхности, из которой должен осуществляться процесс газовыделения при измеренном низком давлении р, поддерживаемом вакуумным насосом с номинальной быстротой действия S_p. Если используется масляный диффузионный насос, он может быть снабжен подходящей перегородкой или холодной ловушкой известной проводимости С_p, расположенной между насосом и камерой, предотвращающей диффузию пара обратно в камеру из насоса, который также обычно имеет внутренние средства уменьшения обратной миграции масляного пара. Если насос представляет собой турбомолекулярный насос или крионасос, никакой ловушки не требуется, но турбонасос может иметь защитный экран на впуске. В систему может быть включен клапан высокого давления известной проводимости С_p, предназначенный для того чтобы изолировать насос от камеры во время вентилирования в атмосферу. Кроме того, иногда необходимо принимать во внимание дополнительное полное сопротивление 1 /С_р потоку газа, создаваемому короткими участками трубы между камерой и корпусом клапана, особенно когда это трубное соединение включает прямоугольное колено. Общая быстрота откачки S_n, имеющаяся на соединении с камерой, тогда выражается следующим образом:

$$1/S_{n}=1/C{b}+1/C{v}+1/S{p}, (1)$$

где проводимости C_b, C_v, С_р принимаются измеренными или рассчитанными без входных или выходных коррекций, поскольку диаметр трубных соединений, а также клапана и корпуса перегородок обычно приблизительно такой же, как и диаметр впускного отверстия в насос. Если быстрота действия насоса S_p была измерена с помощью вакуумного колпака в соответствии со стандартной рекомендуемой практикой Американского вакуумного общества или ISO (Международной организации стандартов), она будет включать единственную входную коррекцию, которую требуется выполнить, поскольку расположение вакуумметра выбирается так, чтобы измеренная скорость имитировала скорость газа, текущего от большой входной камеры по впускному отверстию насоса. Конечно, если никакой перегородки или клапана не используется, соответствующие выражения полного сопротивления из уравнения (1) исключаются. Быстроту действия насоса обычно выражают в литрах в секунду, а проводимость - в мм рт. ст.-литрах на секунду на перепад давления в мм рт. ст.