+7 (495) 664 22 07 baza@vacuumpro.ru

Предварительное разрежение

Во время предварительного разрежения от атмосферного давления пустой камеры с помощью механического насоса (насоса предварительного разрежения) с общей быстротой действия 5Г выражениями газовыделения и сорбции можно пренебречь до тех пор, пока давление, создаваемое одним насосом предварительного разрежения, находится ниже значения, получаемого по полуэмпирической формуле:

$$p_{v}=300K_{1}A/V, (18)$$

где - это чистая скорость газовыделения (включая реадсорбцию) после 1 ч откачки, а числовой коэффициент имеет размерность времени.

Давление pv, как правило, находится в пределах от 10-3 до 10-2 мм рт. ст., когда предельное остаточное давление насоса предварительного разрежения меньше 10-3 мм рт. ст. В области от атмосферного давления р0 (приблизительно 750 мм рт. ст.) до pv интегрирование уравнения (10) (выражениями газовыделения и сорбции можно пренебречь) по максимальной быстроте действия Sr насоса предварительного разрежения и предельному давлению рги дает:

$$p=p_{ru}+P_{0}exp(-S_{r}t/V), (19)$$

а время для достижения давления pv будет приблизительно равняться

$$t_{v}=12V/S_{r}$$

Для L=3R соотношение A/V в уравнении равняется 2600/R, так что

$$t_{v}=8V/S_{r}=320c=5.3 (23)$$

Для систем с крионасосами безопасное давление переключения зависит от объема камеры, поэтому следует соблюдать рекомендации производителя.

Группа РОСВАКУУМ

Адрес: 107023 Россия, г. Москва, Электрозаводская улица, 21

Часы работы офиса: с 9:00 до 18:00 по Москве.

 

Телефон: +7 (495) 664-22-07

E-mail: baza@vacuumpro.ru

 

Чтобы заказать бесплатный подбор оборудования, отправить заявку, запрос или получить консультацию инженеров - свяжитесь с нами по телефону или E-mail.

В базе 310 производителей и поставщиков вакуумного оборудования и техники (РФ, СНГ и зарубежные компании). Цены, наличие на складах и технические характеристики оборудования и техники уточняйте только по электронной почте E-mail.