+7 (495) 664 22 07 baza@vacuumpro.ru

Методы снижения скорости газовыделения

Выбор материала уплотнения

Если необходимо использовать уплотнение из эластомера, предпочтительными материалами являются фторированные углеводороды, в частности такие, как Kalrez и Viton-A, которые, если требуется, можно подвергать термической обработке при 150 °С. Подвергающуюся воздействию поверхность материала уплотнения можно свести до минимума благодаря соответствующей конструкции канавок во фланцах, но эффективная подвергающаяся воздействию площадь зависит от того, насколько хорошо уплотнение входит в канавки, и, как правило, эта площадь больше внутреннего зазора между поверхностями фланца. В системах сверхвысокого вакуума должны использоваться металлические уплотнения и соответствующим образом сконструированные фланцы как для более низкой скорости газовыделения металлов, так и для производства термической обработки без повреждения прокладок.

Рекомендуемые температуры и продолжительность термической обработки

Системы с металлическими стенками и уплотнениями, не содержащими такие вещества, как пластмасса, латунь и металл с кадмиевым покрытием, которые плохо выдерживают температуры свыше 200 °С, могут подвергаться термической обработке в вакууме при 200—250 °С в течение 24 часов для удаления большей части водяного пара, адсорбированного в слое оксида на металлических стенках [25]. Остаточное газовыделение в таком случае обычно вызывается водородом, растворенным в металле. Для значительного снижения скорости газовыделения водорода необходимо выполнять термическую обработку при 450-500 °С в течение 12-24 часов

[5]. Изготовление металлической камеры из дегазированной в вакууме стали также сокращает скорость газовыделения в 2 раза. Стенки из стекла пирекс можно обрабатывать термически при температуре до 450 °С.

Методы очистки и обработки поверхности внутренних стенок вакуумной камеры

Толщину слоя оксида на металлических стенках можно уменьшить посредством бомбардировки стеклянной дробью [26] (что может приводить к внедрению нежелательных примесей) или механической полировки. Органические примеси и водяной пар могут частично удаляться с помощью парового обезжиривания, использования тлеющих разрядов или бомбардировки электронами под вакуумом, а также посредством промывки сухим азотом [27]. Шероховатость поверхности может быть несколько уменьшена посредством электрополировки и химического травления. При необходимости следует пользоваться нитриловыми или полиэтиленовыми перчатками при обращениями с деталями, обрабатываемыми в вакуумной камере, а также желательно применять кондиционер для снижения атмосферной влажности. Вентилирование вакуумной системы сухим азотом и использование положительного давления сухого азота внутри покрытия из пластикового листа с входными заслонками при удалении и подаче обрабатываемых деталей сократит адсорбцию водяного пара на стенках камеры. Обрабатываемые детали должны храниться в герметизированных контейнерах с влагопоглотителями.

Группа РОСВАКУУМ

Адрес: 107023 Россия, г. Москва, Электрозаводская улица, 21

Часы работы офиса: с 9:00 до 18:00 по Москве.

 

Телефон: +7 (495) 664-22-07

E-mail: baza@vacuumpro.ru

 

Чтобы заказать бесплатный подбор оборудования, отправить заявку, запрос или получить консультацию инженеров - свяжитесь с нами по телефону или E-mail.

В базе 310 производителей и поставщиков вакуумного оборудования и техники (РФ, СНГ и зарубежные компании). Цены, наличие на складах и технические характеристики оборудования и техники уточняйте только по электронной почте E-mail.