Электрические проводники в вакууме

Бескислородная медь с высокой проводимостью (БМВП) - это отличный электрический проводник. Гладкая, чистая медь (БМВП) - это отличный вакуумный материал. К сожалению, медь является химически активной и легко окисляется под действием воздуха, воды или диоксида углерода при повышенных температурах. Большие площади меди с несколько окисленными поверхностями (и адсорбированной водой) будут значительно замедлять откачку в диапазоне высокого и сверхвысокого вакуума. Если требуется высокий и сверхвысокий вакуум, на поверхность меди следует наносить гальваническое покрытие менее химически реактивных металлов, в частности таких, как золото, хром и/или никель. Если осаждаются хром или золото, технолог должен обеспечить, чтобы гальваник нанес плотные, гладкие покрытия, относительно свободные от органических присадок, которые придают материалу яркость и выравнивают его, а также обладают высоким давлением пара. Если гальваническое производство не проявит аккуратности и не будет адекватно контролировать технологию нанесения гальванопокрытия, производимые им покрытия из хрома или золота будут грубыми, пористыми и «насыщенными» захваченным водородом. Покрытия из золота сверхвысокой чистоты (осаждаемые из цианидовой ванны без реагентов, придающих блеск или гладкость) имеют поверхность матового вида с большой площадью, где могут выделяться излишние количества сорбированного вещества. Лучшим компромиссным решением могло быть нанесение тонких и гладких плотных «ярких» золотых или хромовых покрытий из ванны, содержащей небольшие концентрации органических присадок, после чего нужно выполнить термическую обработку в вакууме зажимных приспособлений с гальванопокрытием для разложения и выделения захваченных органических веществ и улучшения эффективности действия вакуума. Если деталь с гальваническим покрытием будет использоваться при повышенных температурах на протяжении продолжительного периода времени, тогда следует осаждать никелевый подслой на медные зажимные приспособления. Это никелевое покрытие служит в качестве диффузионного барьера. Следует также отметить, что как медь, так и золото легко распыляются; поверхности меди и золота должны быть защищены от плазмы и потоков частиц.

Серебро - это отличный электрический проводник. К сожалению, серебро может быть химически неустойчивым материалом (смотрите подраздел 4.5.3.4). Серебро следует покрывать гальваническим слоем золота во избежание химических проблем.

Если требуется небольшая проводимость, можно использовать тантал, рений, титан, молибден, вольфрам, никель или алюминий. Каждый из этих металлов имеет как хорошие, так и плохие свойства. Специалист по вакуумным технологиям воспользуется различными металлами для различных компонентов для того, чтобы максимально реализовать хорошие свойства и избежать потенциальных проблем. Эти металлы обладают значениями электрического удельного сопротивления, которые выше аналогичных параметров у серебра, золота и меди. Никель, алюминий, молибден, титан, рений, тантал и вольфрам распыляются хуже, чем золото и медь. Молибден и вольфрам - это огнеупорные металлы с относительно низкими коэффициентами теплового расширения и склонностью к кислороду. Они обеспечивают хорошее уплотнение с помощью глинозема и стекла в электрических соединениях-перемычках. Однако реакции между кислородом и танталом, титаном, молибденом и вольфрамом могут доставлять много хлопот. Эти металлы имеют тенденцию растворять большие количества кислорода или образовывать толстые пористые слои оксида при парциальных давлениях кислорода при повышенных температурах. Водород растворяется в титане и тантале, в особенности при повышенных температурах, и вызывает серьезные проблемы, связанные с охрупчиванием. Тантал и молибден являются крайне ковкими и несколько неприятными для механической обработки. Вольфрам имеет тенденцию к хрупкости, и поэтому его сложно обрабатывать. Крайняя твердость титана представляет проблемы для неквалифицированных станочников, работающих с инструментом низкого качества. Найти источник поставки проволоки из рения легко, но другие виды сырья имеют меньшее распространение. Никель и алюминиевые сплавы, в частности такие, как серия 6000, представляют собой хорошие, экономичные вакуумные материалы, легко очищаемые, формуемые и поддающиеся механической обработке, а также не образующие толстых пористых слоев оксида с излишним выделением газа или распылением частиц. Однако следует отметить, что большие заготовки из никеля (и других магнитных материалов) отнимают значительные количества энергии у радиочастотной плазмы (например, в магнетронных распылительных системах) и нагреваются. Тепловые ограничения, связанные с алюминием, изложены в предыдущем подразделе.

Группа РОСВАКУУМ

Адрес: 107023 Россия, г. Москва, Электрозаводская улица, 21

Часы работы офиса: с 9:00 до 18:00 по Москве.

 

Телефон: +7 (495) 664-22-07

E-mail: baza@vacuumpro.ru

 

Чтобы заказать бесплатный подбор оборудования, отправить заявку, запрос или получить консультацию инженеров - свяжитесь с нами по телефону или E-mail.

В базе 310 производителей и поставщиков вакуумного оборудования и техники (РФ, СНГ и зарубежные компании). Цены, наличие на складах и технические характеристики оборудования и техники уточняйте только по электронной почте E-mail.