+7 (495) 664 22 07 baza@vacuumpro.ru

Подготовка и очистка вакуумных поверхностей

Поверхности, которые находятся в контакте с вакуумной средой, называются вакуумными поверхностями. Это могут быть поверхности самой вакуумной системы, различных приспособлений и крепежных элементов, а также деталей, подвергающихся обработке в вакууме. Они могут состоять из металлов, керамики, стекла, полупроводников или полимеров. Поверхности, используемые для вакуумных видов применения, должны подготавливаться таким образом, чтобы они не вызывали загрязнение в системе [1—5]. Некоторые поверхности, в частности такие, как приспособления, могут сниматься для очистки, в то время как другие, например стенки вакуумной камеры и связанных с ней сквозных соединений, не подлежат демонтажу и должны очищаться на месте. Часто площади поверхности приспособлений и деталей больше площади вакуумной системы, и эти поверхности определяют показатели эффективности откачки, а также загрязнение остаточным газом и паром. Этот тип загрязнения может называться «внесенным загрязнением» или загрязнением, «связанным с процессом» в противоположность загрязнению, «связанному с системой» и относящемуся к недемонтируемым поверхностям.

Подготовка поверхности включает в себя очистку и обработку поверхности. Очистка предполагает уменьшение загрязнения на поверхности до уровня, приемлемого для применения вакуумной среды. Обработка поверхности может предполагать изменение морфологии поверхности для того, чтобы она была грубой или гладкой, изменение химического состава поверхности, изменение газовыделения или обратной диффузии материала или изменение механических свойств поверхности.

Шероховатость поверхности является важным показателем вакуумной эффективности материала. Шероховатость поверхности не только увеличивает площадь поверхности для адсорбции загрязняющих веществ, она также улавливает малые частицы, затрудняя их удаление. Шероховатая или пористая поверхность также допускает капиллярную конденсацию воды, делая более трудным удаление водяного пара из системы. При изготовлении деталей для использования в вакуумной среде поверхность должна быть максимально гладкой. Для металлов это означает малые усилия при механической обработке, острые инструменты, смазочно-охлаждающие жидкости для резания и т. д. Более плотные виды керамики и стекла могут формоваться с гладкими поверхностями путем использования мелкозернистого шлифования и полировочных материалов на окончательных стадиях изготовления. После изготовления поверхность может быть дополнительно выглажена посредством механического [6], химического, электрохимического [7,8] или химического/механического [9] полирования.
Механическое полирование может выполняться на станках или вручную с помощью технологии влажной или сухой полировки. Полировочный материал может быть в виде порошка, содержащегося в суспензии, находящегося в свободном виде или жестко зафиксированного на твердом материале, в частности таком, как бумага.

Очистка и обработка поверхностей должны подробно описываться в инструкциях по эксплуатации и техническому обслуживанию системы. Это в особенности справедливо для алюминия.

Группа РОСВАКУУМ

Адрес: 107023 Россия, г. Москва, Электрозаводская улица, 21

Часы работы офиса: с 9:00 до 18:00 по Москве.

 

Телефон: +7 (495) 664-22-07

E-mail: baza@vacuumpro.ru

 

Чтобы заказать бесплатный подбор оборудования, отправить заявку, запрос или получить консультацию инженеров - свяжитесь с нами по телефону или E-mail.

В базе 310 производителей и поставщиков вакуумного оборудования и техники (РФ, СНГ и зарубежные компании). Цены, наличие на складах и технические характеристики оборудования и техники уточняйте только по электронной почте E-mail.