Хранение вакуумных систем

Очищенные поверхности должны храниться в незагрязняющейся среде. Часто поверхности, подлежащие хранению, содержатся в чистых приспособлениях для сокращения необходимости транспортировать или обращаться с поверхностями непосредственно.

Пассивное хранение

Среда для пассивного хранения - это среда после тщательной очистки. Широко используемой пассивной средой является чистый стеклянный контейнер, в частности, такой, как чашка Петри. Чистые поверхности могут храниться путем обвертывания их чистым материалом. Обвертывание поверхностей в чистый нейлоновый материал или чистую алюминиевую фольгу является эффективным. Обычно лучше всего избегать обвертывания бумагой или полимерной оберткой из-за загрязняющих веществ в этих материалах и абразивной передачи материалов.

Активное хранение

Среда для активного хранения - это среда, из которой непрерывно удаляются загрязняющие вещества посредством адсорбции или химической реакции. Адсорбция углеводородов происходит на свежем оксидном слое алюминия или активированном угле. Углеводородные загрязняющие вещества могут непрерывно удаляться благодаря наличию окисляющей атмосферы. Очищающий шкаф UV/03 обеспечивает такую среду (см. подраздел 4.9.2.3). Очищающая камера UV/03 - лучшая технология хранения поверхностей, где окисление поверхности не представляет собой проблему.

Для некоторых видов применения влага - это главное загрязняющее вещество, поэтому необходима среда с активным осушением. Широко распространенными осушителями являются силикатный гель, пентоксид фосфора (P2Os) и перхлорат магния (Mg [СЮ4]2). Пентоксид фосфора - это, вероятно, самый эффективный осушающий материал. Он должен сплавляться для уменьшения формирования частиц. Осушители должны использоваться осторожно, поскольку они имеют тенденцию быть ломкими и образовывать частицы. Лучше всего изолировать осушители из камеры хранения посредством фильтра частиц. После продолжительного использования осушители должны регенерироваться посредством нагревания.