Зона обработки и очистки

Чистые поверхности очень реактивные и легко снова загрязняются. Повторное загрязнение может иметь место в результате адсорбции паров, сбора частиц, контакта с другими поверхностями или реактивными газами. Важным аспектом очистки являются условия, существующие в зоне обработки, транспортировка поверхностей (обращение с поверхностями) и хранение очищенной детали. Пыль — это предмет особого беспокойства в обработке термовакуумным осаждением из паровой фазы, поскольку частицы на поверхности деталей приведут к образованию ямок в нанесенной пленке. Очистка должна выполняться в среде и с использованием процедур, которые являются совместимыми с желаемым уровнем чистоты. Методы очистки окружающей среды могут варьироваться от очень простых до сложных и дорогих.

В зоне очистки следует контролировать несколько типов загрязняющих веществ:

• частицы — органические и неорганические;
• пары — органические и неорганические;
• реактивные газы — неизбежно присутствующие в атмосфере, и те, присутствия которых можно избежать.

Необходимо выполнить несколько этапов для сокращения загрязнения в среде обработки. Присутствия загрязняющих веществ в зоне обработки можно избежать путем очистки и поддержания чистоты, а также отделением зоны обработки и очистки от источников загрязняющих веществ, особенно мелких частиц, например мест скопления большого количества обычной бумаги, коротковолоконных материалов (ковры, одежда из хлопкового волокна, покрывала и салфетки для мебели). Кроме того, требуется исключение материалов, производящих пары, в частности таких, как многие виды формованной пластмассы и виниловых покрытий [24].

Дополнительное действие, которое может быть выполнено для сокращения загрязнения, заключается в том, чтобы ограничить насколько это реально производящие загрязняющие вещества источники. Люди в одежде сбрасывают большие количества частиц при движении. Использование головных уборов, масок для закрытия рта, масок для закрытия волос на лице, а также куртки или спецодежда из плотных тканей с длинным волокном или бумага с покрытием, в частности такая, как Tyvek®, будут ставить заслон частицам. Закрытие тела обеспечивает несколько степеней возможностей контроля загрязнения [97]. Застегивающиеся полностью «лабораторные халаты» обеспечивают минимальный контроль загрязнения. Халаты на молнии в этом отношении лучше. Источники поставок спецодежды можно найти в Руководстве покупателей Micro [98]. На вентилируемых рабочих участках, в частности таких, как «химические зонты», должны выполняться необходимые правила безопасности производства пара и аэрозолей.

Пары, в частности такие, как водяной пар, растворители и многие органические вещества с низкой молекулярной массой, а также полимеры легко конденсируются и адсорбируются. Водяной пар, в частности, может часто быть важным и переменным загрязняющим веществом в вакуумной системе. Относительная влажность среды обработки должна контролироваться. Обычно комфортным и не избыточным является значение, равное приблизительно 45%. Пары органических веществ и полимеров часто образуются строительными материалами и покрытием мебели, в частности винилом.

Реактивные газы реагируют с чистыми поверхностями, образуя поверхностные слои. Их присутствие может быть неизбежным (кислород) либо его можно избежать (хлор). Хлор, например, реагирует с алюминием, вызывая коррозию поверхности. Нежелательные реактивные газы должны, где возможно, исключаться из рабочей зоны.

Фильтрация частиц

Находящиеся в воздухе частицы — это загрязняющие вещества, за которыми наиболее часто ведется наблюдение и требуется контроль в зоне очистки. Размер частиц может изменяться от величины меньше микрона до многих микронов, их измеряют посредством методов рассеивания света, а также указывают в технических требованиях в виде числа частиц на кубический фут воздуха свыше определенного размера (например 0,5 микрона). Чем меньше и легче частица, тем меньше ее скорость осаждения и тем легче она может снова подняться в воздух. Самые маленькие частицы, как правило, образуются испарением аэрозолей, в частности таких, как морские брызги и слюна. Широко распространенные органические частицы образуются в результате разрыва волокон ткани (шерсти или хлопка) и шелушения кожи.

Частицы удаляются из зоны очистки посредством механической фильтрации [99—101]. Небольшие участки обработки с фильтрованными источниками воздуха могут использоваться для обеспечения локальных чистых участков [100]. Они могут быть «столами очистки», где используется горизонтальный ламинарный поток фильтрованного воздуха для удаления частиц или участки очистки «мягкой стены», отделенные от зоны обработки пластмассовыми занавесками и использующие направленный вниз ламинарный поток фильтрованного воздуха, входящий в потолке и выходящий под занавеской. Участок окончательной очистки — это «чистая комната». Стандарты чистой комнаты измеряются числом частиц на кубический фут воздуха при размере частицы больше 0,5 микрона. Чистые комнаты Класса 1 достигаются при условии очень строгой конструкции, изготовлении и условиях эксплуатации. Чистые комнаты Класса 100 становятся широко распространенными при изготовлении и сборке компонентов и устройств, чувствительных к частицам. Комнаты Класса 10 000 обычно достигаются при модернизации существующего оборудования и умеренного контроля условий в комнате и используются в качестве участков общей очистки и сборки. Неконтролируемые участки могут представлять собой Класс 10 000 или больше. Термин «чистая комната» является в определенной степени неправильным названием в том смысле, что в чистой комнате никакой попытки для фильтрования паров из воздуха не делается. Строительство, эксплуатация и содержание эффективных чистых комнат — это очень дорогостоящее дело. Следует внимательно изучить другие способы контроля загрязнения, прежде чем принять решение о необходимости чистой комнаты высокого класса (в действительности низкого Класса).

Группа РОСВАКУУМ

Адрес: 107023 Россия, г. Москва, Электрозаводская улица, 21

Часы работы офиса: с 9:00 до 18:00 по Москве.

 

Телефон: +7 (495) 664-22-07

E-mail: baza@vacuumpro.ru

 

Чтобы заказать бесплатный подбор оборудования, отправить заявку, запрос или получить консультацию инженеров - свяжитесь с нами по телефону или E-mail.

В базе 310 производителей и поставщиков вакуумного оборудования и техники (РФ, СНГ и зарубежные компании). Цены, наличие на складах и технические характеристики оборудования и техники уточняйте только по электронной почте E-mail.