Зона обработки и очистки

Чистые поверхности очень реактивные и легко снова загрязняются. Повторное загрязнение может иметь место в результате адсорбции паров, сбора частиц, контакта с другими поверхностями или реактивными газами. Важным аспектом очистки являются условия, существующие в зоне обработки, транспортировка поверхностей (обращение с поверхностями) и хранение очищенной детали. Пыль — это предмет особого беспокойства в обработке термовакуумным осаждением из паровой фазы, поскольку частицы на поверхности деталей приведут к образованию ямок в нанесенной пленке. Очистка должна выполняться в среде и с использованием процедур, которые являются совместимыми с желаемым уровнем чистоты. Методы очистки окружающей среды могут варьироваться от очень простых до сложных и дорогих.

В зоне очистки следует контролировать несколько типов загрязняющих веществ:

• частицы — органические и неорганические;
• пары — органические и неорганические;
• реактивные газы — неизбежно присутствующие в атмосфере, и те, присутствия которых можно избежать.

Необходимо выполнить несколько этапов для сокращения загрязнения в среде обработки. Присутствия загрязняющих веществ в зоне обработки можно избежать путем очистки и поддержания чистоты, а также отделением зоны обработки и очистки от источников загрязняющих веществ, особенно мелких частиц, например мест скопления большого количества обычной бумаги, коротковолоконных материалов (ковры, одежда из хлопкового волокна, покрывала и салфетки для мебели). Кроме того, требуется исключение материалов, производящих пары, в частности таких, как многие виды формованной пластмассы и виниловых покрытий.

Дополнительное действие, которое может быть выполнено для сокращения загрязнения, заключается в том, чтобы ограничить насколько это реально производящие загрязняющие вещества источники. Люди в одежде сбрасывают большие количества частиц при движении. Использование головных уборов, масок для закрытия рта, масок для закрытия волос на лице, а также куртки или спецодежда из плотных тканей с длинным волокном или бумага с покрытием, в частности такая, как Tyvek®, будут ставить заслон частицам. Закрытие тела обеспечивает несколько степеней возможностей контроля загрязнения. Застегивающиеся полностью «лабораторные халаты» обеспечивают минимальный контроль загрязнения. Халаты на молнии в этом отношении лучше. Источники поставок спецодежды можно найти в Руководстве покупателей Micro. На вентилируемых рабочих участках, в частности таких, как «химические зонты», должны выполняться необходимые правила безопасности производства пара и аэрозолей.

Пары, в частности такие, как водяной пар, растворители и многие органические вещества с низкой молекулярной массой, а также полимеры легко конденсируются и адсорбируются. Водяной пар, в частности, может часто быть важным и переменным загрязняющим веществом в вакуумной системе. Относительная влажность среды обработки должна контролироваться. Обычно комфортным и не избыточным является значение, равное приблизительно 45%. Пары органических веществ и полимеров часто образуются строительными материалами и покрытием мебели, в частности винилом.

Реактивные газы реагируют с чистыми поверхностями, образуя поверхностные слои. Их присутствие может быть неизбежным (кислород) либо его можно избежать (хлор). Хлор, например, реагирует с алюминием, вызывая коррозию поверхности. Нежелательные реактивные газы должны, где возможно, исключаться из рабочей зоны.

Фильтрация частиц

Находящиеся в воздухе частицы — это загрязняющие вещества, за которыми наиболее часто ведется наблюдение и требуется контроль в зоне очистки. Размер частиц может изменяться от величины меньше микрона до многих микронов, их измеряют посредством методов рассеивания света, а также указывают в технических требованиях в виде числа частиц на кубический фут воздуха свыше определенного размера (например 0,5 микрона). Чем меньше и легче частица, тем меньше ее скорость осаждения и тем легче она может снова подняться в воздух. Самые маленькие частицы, как правило, образуются испарением аэрозолей, в частности таких, как морские брызги и слюна. Широко распространенные органические частицы образуются в результате разрыва волокон ткани (шерсти или хлопка) и шелушения кожи.

Частицы удаляются из зоны очистки посредством механической фильтрации. Небольшие участки обработки с фильтрованными источниками воздуха могут использоваться для обеспечения локальных чистых участков. Они могут быть «столами очистки», где используется горизонтальный ламинарный поток фильтрованного воздуха для удаления частиц или участки очистки «мягкой стены», отделенные от зоны обработки пластмассовыми занавесками и использующие направленный вниз ламинарный поток фильтрованного воздуха, входящий в потолке и выходящий под занавеской. Участок окончательной очистки — это «чистая комната». Стандарты чистой комнаты измеряются числом частиц на кубический фут воздуха при размере частицы больше 0,5 микрона. Чистые комнаты Класса 1 достигаются при условии очень строгой конструкции, изготовлении и условиях эксплуатации. Чистые комнаты Класса 100 становятся широко распространенными при изготовлении и сборке компонентов и устройств, чувствительных к частицам. Комнаты Класса 10 000 обычно достигаются при модернизации существующего оборудования и умеренного контроля условий в комнате и используются в качестве участков общей очистки и сборки. Неконтролируемые участки могут представлять собой Класс 10 000 или больше. Термин «чистая комната» является в определенной степени неправильным названием в том смысле, что в чистой комнате никакой попытки для фильтрования паров из воздуха не делается. Строительство, эксплуатация и содержание эффективных чистых комнат — это очень дорогостоящее дело. Следует внимательно изучить другие способы контроля загрязнения, прежде чем принять решение о необходимости чистой комнаты высокого класса (в действительности низкого Класса).

Группа РОСВАКУУМ

Адрес: 107023 Россия, г. Москва, Электрозаводская улица, 21

Часы работы офиса: с 9:00 до 18:00 по Москве.

 

Телефон: +7 (495) 664-22-07

E-mail: baza@vacuumpro.ru

 

Чтобы заказать бесплатный подбор оборудования, отправить заявку, запрос или получить консультацию инженеров - свяжитесь с нами по телефону или E-mail.

В базе 310 производителей и поставщиков вакуумного оборудования и техники (РФ, СНГ и зарубежные компании). Цены, наличие на складах и технические характеристики оборудования и техники уточняйте только по электронной почте E-mail.