Съемные поверхности

Съемные поверхности - это поверхности, которые обычно снимаются, обрабатываются или которые могут легко сниматься для очистки, в частности такие, как приспособления, оснастка, гильзы и экраны. В некоторых случаях съемная поверхность может выбрасываться, в частности такая, как алюминиевая фольга, когда она используется в вакуумной системе. Обратите внимание на то, что типичная алюминиевая фольга покрывается растительным маслом и должна очищаться до того, как она будет использована в вакуумной системе.

Распространенными материалами для съемных поверхностей являются коррозионностойкая сталь и алюминий с некоторым использованием титана. Иногда может использоваться полимер для приспособления, и часто полимер обрабатывается в вакуумной системе. Если возможно, съемные поверхности должны выглаживаться, как об этом уже говорилось. Если во время обработки загрязнения вакуумной поверхности не было, поверхность, которая была удалена из камеры, может зачищаться так, как это описывается в подразделе 4.9.2.3. При использовании вакуумной системы для нанесения пленки или покрытия, плазмы или нанесения химического пара низкого давления потребуется «очистить» поверхность от накопившегося отложения.

Гильзы и щиты

Съемная поверхность должна защищаться от коррозии или абразивного воздействия. Это может вызывать необходимость использования гильз и щитов в системе для защиты поверхности от среды обработки или минимизации потребности в последующей очистке.

Снятие материала

Снятие материала - это термин, которым называется снятие больших количеств материалов с поверхности, обычно химическими или механическими средствами. Простейший способ снятия материала заключается в нанесении липкой ленты и вытягивании накопившегося отложения с поверхности. Это может облегчаться отделяющим реагентом на поверхности. Распространенными отделяющими реагентами являются углерод и нитрид бора (например Combat®), которые наносятся на вакуумную поверхность в водной суспензии. Освобождающие реагенты могут также наноситься на недемонтируемые поверхности и могут наноситься посредством разложения в тлеющем разряде пара углеводорода [34]. Оксид на поверхности коррозионностойкой стали действует в качестве естественного освобождающего реагента для пленок отложившихся материалов, таких как медь или золото, которые не являются очень активными по отношению к кислороду.

Накопленные отложения можно также удалить посредством абразива с помощью дробеструйной обработки и сухой или влажной обработкой стеклянной дробью [35-37], которые являются широко распространенными технологиями. Сухая обработка стеклянной дробью - это широко используемая технология очистки, но так же, как в случае других технологий абразивной обработки дробью, в результате обработки в мягких поверхностях могут оставаться осколки стекла. Дробеструйная обработка может также деформировать поверхность и захватывать загрязнение маслом, если поверхность не является чистой до дробеструйной обработки. Количество вкрапившейся дроби зависит от того, насколько долго используется стеклянная дробь, т. е. от степени поломки этой дроби. Растворимые в воде частицы могут использоваться для абразивной очистки и позволяют легко удалять растворимые в воде вкрапившиеся частицы. Например, частицы бикарбоната натрия (пищевая сода) размером 5 микрон, вовлеченные в высокоскоростной водный поток, могут использоваться для мягкой абразивной очистки. В некоторых случаях могут использоваться полимерные шарики [38].

В дробеструйной обработке используется дробь, в частности дробленный чугун, глинозем, кремнезем, пластмасса и т. д. различных размеров и форм, ускоряемая в потоке газа для деформирования и вырубки поверхности [391. Частицы могут вовлекаться в высокоскоростной поток газа путем использования сифонной системы или системы давления, в частности такой, как пескоструйное оборудование. Кроме удаления сильного загрязнения, дробеструйная обработка делает поверхность шероховатой. Общество автомобильных инженеров (SAE) имеет спецификации по размеру дроби и типу, например Спецификация SAE J444 для чугунной дроби от G10 (максимальный размер 2820 микронов) до G325 (максимальный размер 120 микронов), в которой указывается процент по объему, допускаемый на стандартных ситах. Бомбардировка поверхности дробью походит на «дробеструйную обработку» и создает на поверхности сжимающее напряжение, которое может приводить к неприемлемому искажению тонких материалов.

В некоторых случаях поверхности приспособлений преднамеренно делаются шероховатыми для предотвращения легкого удаления накопившихся отложений, поскольку расслоение отложившегося материала может быть источником частиц в вакуумной системе. Создание шероховатой поверхности, как правило, обеспечивается с помощью дробеструйной обработки.

Химическое травление может часто использоваться для удаления накопления отложений [40) без воздействия на материал, находящийся в толще детали. В таблице 2 приводится ряд растворов для травления, которые могут использоваться для удаления указанного материала. Также приводятся некоторые плазмы, которые могут использоваться для удаления указанного материала. Химическое травление также используется для удаления покрытий с деталей с покрытием для «доработки» деталей.

В экстремальных случаях поверхность должна очищаться посредством агрессивных технологий, в частности таких, как механическая абразивная очистка. Может использоваться влажная или сухая механическая абразивная обработка с использованием абразивной подушки Scotchbrite® или наждачная бумага, хотя эти технологии стачивают поверхность и увеличивают площадь поверхности.

Группа РОСВАКУУМ

Адрес: 107023 Россия, г. Москва, Электрозаводская улица, 21

Часы работы офиса: с 9:00 до 18:00 по Москве.

 

Телефон: +7 (495) 664-22-07

E-mail: baza@vacuumpro.ru

 

Чтобы заказать бесплатный подбор оборудования, отправить заявку, запрос или получить консультацию инженеров - свяжитесь с нами по телефону или E-mail.

В базе 310 производителей и поставщиков вакуумного оборудования и техники (РФ, СНГ и зарубежные компании). Цены, наличие на складах и технические характеристики оборудования и техники уточняйте только по электронной почте E-mail.