+7 (495) 664 22 07 baza@vacuumpro.ru

Специальные вакуумные клапаны

Некоторые вакуумные клапаны и вакуумные вентили предназначаются для конкретных видов применения. Например, может возникнуть необходимость медленного форвакуумирования технологической камеры для уменьшения повреждения хрупких элементов, таких как полупроводниковые пластины, или уменьшения содержания частиц. Существуют простые затворы, автоматически выполняющие эту функцию и показанные на рис. 7, вакуумные электромагнитные клапаны и другие.

автоматический клапан для мягкого запуска форвакуумного насоса

Рис. 7. Автоматический клапан для мягкого запуска форвакуумного насоса с целью сокращения турбулентности во время откачки системы. При установке в вакуумную линию первоначальный газовый поток закрывает клапан, и откачка продолжается по периферии задвижки. Когда поток уменьшится, клапан открывается под действием пружины для обеспечения большей проводимости.

Они устанавливаются во фланцевый стык форвакуумной линии, и движение газа в начале откачки вызывает закрытие задвижки. Как только поток газа уменьшится, затвор автоматически открывается под действием пружины для обеспечения большей проводимости.

Также существуют тарельчатые клапаны, включающие эту функцию мягкого запуска. На рис. 8 показаны траектории потока в этих клапанах.

тарельчатый клапан с байпасом для мягкого запуска

Рис. 8. Тарельчатый клапан с байпасом для мягкого запуска: а - первоначальное форвакуумирование через байпас; б - открытие главного тарельчатого клапана после предварительного форвакуумирования для увеличения проводимости.

Первоначальное форвакуумирование осуществляется через байпас с небольшим отверстием, а наконечник открывается позднее при откачке. Такие клапаны иногда называются двухступенчатыми клапанами. Байпас содержит небольшой тарельчатый механизм, обеспечивающий отсечку, и может интегрироваться с корпусом. В некоторых случаях характеристики откачки могут варьироваться для того, чтобы соответствовать конкретному виду применения и системе путем регулирования небольшого тарельчатого механизма.

Другой специализированный вакуумный клапан предназначается для обеспечения изоляции и вентилирования механических насосов в случае отказа питания. Это помогает поддерживать вакуум в системе и предотвращает загрязнение системы маслом, идущим назад от насоса. Использование этого клапана показано на рис. 9.

клапан для автоматической изоляции системы и вентилирования насоса

Рис. 9. Клапан для автоматической изоляции системы и вентилирования насоса при отключении питания: а - нормальная работа при включенном питании; б - отключение питания насоса и соленоидного клапана. Под действием атмосферного давления клапан закрывается, изолировав систему и произведя вентиляцию механического насоса.

Клапан установлен рядом с впуском насоса, и его соленоид управления подсоединен параллельно с двигателем насоса. Когда отключается питание, клапан очень быстро закрывается, изолируя систему от насоса. Сторона клапана, на которой находится насос, автоматически вентилируется для предотвращения обратного хода масла и для более легкого перезапуска насоса. После восстановления питания клапан не открывается до тех пор, пока не будет откачана сторона насоса, минимизируя тем самым любой всплеск давления в системе при открытии. Важно, чтобы клапан был установлен с соответствующей ориентацией потока, поэтому именно сторона насоса, а не сторона системы вентилируется при закрытии.

Для некоторых видов применения может требоваться модернизированный клапан или клапан по специальному заказу. Широко распространенными видами модернизации стандартного клапана являются добавление окон для откачки или установка датчика. Для достижения низкой магнитной проницаемости или увеличения химической устойчивости могут использоваться специальные материалы. Шиберные клапаны могут модернизироваться путем включения в шибер оптических окон или водоохлаждаемых шиберов для металлургических процессов. Клапаны для ядерных ускорителей могут быть очень специализированными, обеспечивая экранирование радиочастоты полости корпуса или время закрытия порядка нескольких миллисекунд для защиты оборудования.

В табл. 3 даны основные характеристики широко распространенных типов клапанов, которые рассматривались в данном подразделе.

Тип клапана Вид эксплуатации Особенности/комментарии
Тарельчатый Отсечка/изоляция Обычно недорогой и надежный; производится с металлическими уплотнениями для высоковакуумных видов применения, а также в проходном исполнении, может использоваться для контроля и отсечки потока.
Затвор Отсечка/изоляция Тонкий корпус, рядное расположение окон, выпускается с полимерным или металлическим уплотнениями.
Диафрагменный Отсечка/изоляция Низкая стоимость, производится только с размером окон менее 50 мм; диафрагмы часто изготовлены из полимеров. В мелких клапанах для транспортировки газа используются металлические уплотнения.
Бабочка Отсечка/изоляция Низкая стоимость клапанов с ручным приводом, клапаны с электромагнитным приводом подходят для управления давлением замкнутого контура.
Напускной Контроль давления Для контроля давления по направлению потока; часто с электромагнитным приводом
Нагнетатель Впуск воздуха Для контролируемого впуска малых количеств газа в вакуумные системы; многие конструкции могут обеспечивать отсечку подачи газа
Аварийный для защиты насоса   Изолирует вакуумную систему и автоматически вентилирует насос в случае отключения питания.
С байпасом для мягкого запуска Мягкая откачка Замедляет первоначальную откачку камеры для сокращения количества частиц. Это может быть единственной функцией клапана, или клапан может встраиваться в другой клапан.

Таблица 3. Основные характеристики и виды эксплуатации вакуумных клапанов1.

1В российской вакуумной технике принята другая классификация вакуумных клапанов, см. ГОСТ 5197-85.

Группа РОСВАКУУМ

Адрес: 107023 Россия, г. Москва, Электрозаводская улица, 21

Часы работы офиса: с 9:00 до 18:00 по Москве.

 

Телефон: +7 (495) 664-22-07

E-mail: baza@vacuumpro.ru

 

Чтобы заказать бесплатный подбор оборудования, отправить заявку, запрос или получить консультацию инженеров - свяжитесь с нами по телефону или E-mail.

В базе 310 производителей и поставщиков вакуумного оборудования и техники (РФ, СНГ и зарубежные компании). Цены, наличие на складах и технические характеристики оборудования и техники уточняйте только по электронной почте E-mail.