+7 (495) 664 22 07 baza@vacuumpro.ru

Примеры эксплуатации вакуумных вводов вращения

Вводы вращения, работающие в облегченном режиме

Примеры этой категории включают затворы для испарения и источники осаждения напылением (вакуумная установка Булат), системы позиционирования для многокамерных источников электронно-лучевого напыления, позиционеры образца и диски прерывателя. Диаметр вала, как правило, равен от 6 до 10 мм. На рис. 3 показано три вида установки популярных видов продукции с диаметром вала 6,35 мм.

Уплотнение полого вала

Если валы большие, сложные или подлежащие конструкционным изменениям, удобно использовать вводы вращения с полым валом. Вводы вращения с полым валом обеспечивают полный комплекс подшипников и уплотнений, в котором вал представляет собой трубу или гильзу с точно контролируемым внутренним диаметром. Потребитель подсоединяет этот комплекс к валу, формируя комплектный узел, подходящий для вида применения. Требуется статическое уплотнение-кольцо между внутренним диаметром полого вала и наружным диаметром вала потребителя. Требуется положительное средство приведения полого вала через вал потребителя для обеспечения того, чтобы вал потребителя не перемещался относительно полого вала, что повредило бы статическое уплотнение-кольцо. На рис. 4 показан типичный случай эксплуатации.

Вращение тигля и установка для вытягивания монокристаллов кремния методом Чохральского

На рис. 5 показано, как ввод вращения магнитной жидкости используется в процессе, где генерируется большое количество мелко разделенной пыли (SiO), под действием которой быстро ухудшается состояние подшипников и уплотнения. Конструкция консольного подшипника разделяет подшипники и процесс, а манжетное уплотнение изолирует уплотнение магнитной жидкости от процесса, увеличивая число циклов процесса, которое может быть осуществлено до тех пор, как будет нужно обслужить уплотнение. Эта продукция имеет специальную конструкцию.

Соосный ввод вращения для захвата робота

Роботизированные захваты широко используются для манипуляции с кремниевыми заготовками для интегральных схем и дисплеями с плоской панелью в многоинструментальной обработке и другом оборудовании для обработки полупроводников. Требуется два независимых движения. Один из способов достижения этого заключается во вложении одного ввода вращения внутри другого, как показано на рис. 6. Эта продукция имеет специальную конструкцию.

вводы в легком режиме

Рис. 3. Вводы вращения, работающие в облегченном режиме (диаметр вала 6,35 мм)

уплотнение полого вала

Рис. 4. Уплотнения полого вала

система выращивания кристаллов кремния

Рис. 5. Система выращивания кристаллов кремния

соосный ввод

Рис. 6. Соосный ввод вращения для роботизированной руки

Нет товаров, соответствующих выбору

Страница в разработке - прямо сейчас здесь нет актуальных товаров, соответствующих вашему выбору.
Но у нас есть эта техника. Поэтому свяжитесь с нами по телефону или Email за информацией.