+7 (495) 664 22 07 baza@vacuumpro.ru

Влияние вакуумного ввода вращения на процесс откачки

Вводы вращения могут создавать нежелательные вторичные воздействия на среду вакуумного процесса из-за присутствия магнитных жидкостей, подшипников и магнитных полей. Пользователи должны учитывать, не будет ли любое из этих воздействий значительным в конкретном виде применения.

Магнитные жидкости - это наиболее таинственные из этих элементов для большинства потребителей; их свойства более полно рассматриваются в подразделе 4.2.5. В отношении их возможного воздействия на среду процесса главными учитываемыми факторами являются давление пара и химический состав. Каждый ввод вращения содержит небольшую свободную поверхность жидкости, соприкасающейся с вакуумным пространством. Площадь этой поверхности приблизительно выражается следующим соотношением:

$$A\approx0,3D, (2)$$

где А — площадь свободной поверхности, мм2; D = диаметр вала, мм.
Жидкость испаряется с этой свободной поверхности со скоростью, пропорциональной давлению пара (10-10 до 10-12 мм рт. ст. при 20 °С для типичных жидкостей). Мало что можно сделать для того, чтобы уменьшить площадь свободной поверхности, но можно выбрать жидкости с самыми низкими значениями давления пара. Однако жидкости с самым низким давлением пара, как правило, имеют очень высокую вязкость, приводящую к увеличению необходимого крутящего момента для управления вводом вращения. При высоких скоростях это приводит к самонагреванию и повышению локальной температуры (и давления пара) жидкости. Наиболее распространенные жидкости основаны на углеводородах с давлением пара в районе 10-10 мм рт. ст. (20 °С). Могут быть также получены жидкости на основе материалов из перфторированного полиэфира (давление пара приблизительно 10-12 мм рт. ст.).

Подшипники могут вызывать возникновение частиц в самом процессе, так как в большинстве вводов вращения используется «верховая» конструкция, при которой шарикоподшипник помещается с каждой стороны системы магнитного уплотнения. Подшипник вакуумной стороны генерирует частицы, которые зависят от нагрузки, скорости и смазки. Широко используются консистентные виды смазки с низким давлением пара (материалы из перфторированного полиэфира). Когда требуется исключительно низкое генерирование частиц, в спецификацию могут включаться подшипники с сухой смазкой, но грузоподъемность значительно сокращается, и затраты увеличиваются. В некоторых случаях (например очень высокие скорости) может быть оправдано использование керамических подшипников (очень дорогие). Иногда используется «консольная» подшипниковая схема, в которой оба подшипника расположены со стороны атмосферы уплотнения. Таким образом, подшипники и смазочные вещества отделяются от процесса, но также увеличивается размер и стоимость ввода вращения.

Большая часть магнитной энергии ограничивается внутренними областями ввода вращения. Также присутствуют внешние поля, которые, как правило, являются нежелательными. В некоторых вводах вращения используется магнитно уравновешенная конструкция, при которой используются несколько магнитов в конфигурации противостоящих друг другу полей. Это приводит к значительному (но не полному) аннулированию нежелательного внешнего ноля. В видах применения, где внешние магнитные поля представляют собой значительную проблему, потребители должны консультироваться с производителями для получения конкретных рекомендаций до окончательного выбора ввода вращения.

Нет товаров, соответствующих выбору

Страница в разработке - прямо сейчас здесь нет актуальных товаров, соответствующих вашему выбору.
Но у нас есть эта техника. Поэтому свяжитесь с нами по телефону или Email за информацией.