Степени вакуума

Величина давления системы - это традиционная характеристика для классификации степеней вакуума. В настоящее время общий термин «вакуум» относится к любой области, имеющей давление в диапазоне от атмосферного до давления, на 19 порядков ниже атмосферного. Для удобства этот расширенный диапазон давлений подразделяется на несколько интервалов, обозначающих степень вакуума. Данное подразделение величин давления ниже атмосферного является несколько произвольным и представляет собой удобный способ обозначения различных физических явлений, возникающих в пределах величин давления, указанных для каждой степени. Многие промышленные виды применения вакуума могут быть также классифицированы в соответствии со степенью вакуума. В табл. 2 представлены виды промышленного применения вакуума и соответствующие им диапазоны давлений.

Таблица 2. Виды промышленного применения вакуума

Степень вакуума

Цель

Виды применения

Низкий вакуум

Достижение перепада давления

Установки получения низкого вакуума в медецине, удерживание и поднятие грузов, пневматические приводы транспортных машин, очистители, филь­ трация, формование

Средний вакуум

Удаление активных газов - компонентов атмосферы

Лампы (накаливания, люминесцентные, электро- разрядные), плавление, спекание, упаковка, инкап­ суляция, обнаружение течей

 

Удаление газовых включений или газов, растворенных

в твердых телах

Сушка, дегидратация, конденсация, сушка вымора­ живанием, дегазация, лиофильная сушка, импрегна­ ция

 

Уменьшение передачи энергии

Тепловая изоляция, электрическая изоляция, ваку­ умный микробаланс, моделирование условий кос­ мического пространства

Высокий вакуум

Исключение столкновения молекул

Электронные и катодно-лучевые трубки, кинеско­ пы, фотоэлементы, фотоумножители, рентгеновс­ кие трубки, ускорители, накопители, масс-спектро­ метры, установки для разделения изотопов, элект­ ронные микроскопы, сварка электронным лучом, нанесение покрытий (испарением, металлизация напылением), молекулярная дистилляция

Сверхвысокий вакуум

Очистка поверхностей

Дробление, адгезия, эмиссионные исследования, испытания материалов для применения в космичес­ кой промышленности

Для рассмотрения физических явлений, связанных с различными степенями вакуума, указанными в табл. 1.2, будет полезно ввести другие понятия, характеризующие степень вакуума: молекулярная концентрация, средняя длина свободного пути молекул газа и время формирования мономолекулярного слоя. Эти термины имеют следующие определения:

  1. Молекулярная концентрация - среднее число молекул газа в единице объема;
  2. Средняя длина свободного пути молекул газа - среднее расстояние, которое проходит молекула между двумя последовательными столкновениями с другими молекулами;
  3. Время формирования мономолекулярного слоя - время, которое необходимо для того, чтобы чистая поверхность покрылась слоем газа толщиной в одну молекулу. Это время определяется отношением числа молекул, необходимым для формирования компактного мономолекулярного слоя (приблизительно 8 x 1014 молекул/см2), и частотой соударений молекул с поверхностью.

На рис. 1.1 показано соотношение между этими величинами в виде функции давления. С помощью приведенных выше определений можно описать физические процессы, характеризующие различные степени вакуума.

функция максвелла больцмана

Рис 1. Функция Максвелла-Больцмана распределения молекул по скоростям

Низкий и средний вакуум

В диапазоне низкого и среднего вакуума число молекул газа в вакуумном сосуде велико по сравнению с числом молекул, покрывающих поверхность сосуда. Таким образом, снижение давления путем откачки служит для удаления молекул из газовой фазы. Данный диапазон вакуума находится в пределах величин давления от 1 атм до примерно 10-2 Торр. Вакуум такой степени используется во многих промышленных технологиях, где требуется дегазация или сушка материалов и компонентов.

1. Функция Максвелла-Больцмана распределения молекул по скоростям

$$\int _{v}=\frac{1}{n}\frac{dn}{dn}=\frac{4}{\pi ^{\frac{1}{2}}}\left ( \frac{m}{2kT} \right ).$$

2. Наиболее вероятная скорость

$$v_{p}=\sqrt{\frac{2kT}{m}}.$$

3. Среднеарифметическая скорость

$$\bar{v}=\sqrt{\frac{8kT}{\pi m}}==1.13v_{p}.$$

4. Среднеквадратичная скорость

$$v_{max}=\sqrt{\frac{3kT}{m}}=1.225vv_{p}.$$

5. Средняя энергия

$$\bar{e}=\frac{3}{2}kT.$$

Высокий вакуум

Область высокого вакуума соответствует состоянию, при котором молекулы газа располагаются главным образом на поверхностях сосуда и средняя длина свободного пути молекул равна или превышает размеры вакуумного сосуда. Молекулы движутся в вакуумном сосуде, не сталкиваясь с другими молекулами. При такой степени вакуума цель откачки заключается в удалении отдельных молекул. Молекулы покидают поверхность и по отдельности достигают насоса. Высокий вакуум широко используется для нанесения вакуумных покрытий, обработки поверхностей и модификации. Диапазон давлений высокого вакуума составляет от 10-3до 10-7 Торр.

Сверхвысокий вакуум

В условиях сверхвысокого вакуума время формирования мономолекулярного слоя равно или превышает время формирования мономолекулярного слоя в обычных лабораторных условиях. Таким образом, можно производить подготовку и определение свойств чистых поверхностей перед формированием слоя адсорбированного газа. Диапазон давлений сверхвысокого вакуума составляет от 10-7 до 10-15 Торр.
В табл. 2 приведены различные виды применения вакуумной техники во многих ключевых промышленных технологических процессах в зависимости от степени используемого вакуума.

Группа РОСВАКУУМ

Адрес: 107023 Россия, г. Москва, Электрозаводская улица, 21

Часы работы офиса: с 9:00 до 18:00 по Москве.

 

Телефон: +7 (495) 664-22-07

E-mail: baza@vacuumpro.ru

 

Чтобы заказать бесплатный подбор оборудования, отправить заявку, запрос или получить консультацию инженеров - свяжитесь с нами по телефону или E-mail.

В базе 310 производителей и поставщиков вакуумного оборудования и техники (РФ, СНГ и зарубежные компании). Цены, наличие на складах и технические характеристики оборудования и техники уточняйте только по электронной почте E-mail.