+7 (495) 664 22 07 baza@vacuumpro.ru

Емкостные вкуумметры. Баратрон

Датчики давления (вакуумметры) Баратрон (рис. 4.5) позволяют измерять абсолютное и дифференциальное давление в диапазоне от Ю-6 мбар до 35 бар с точностью от 0,25 до 0,05 % от показания. Последние модели дают возможность измерять давление до 200 бар с точностью до 1 % от показания.

баратрон

Рис. 4.5. Схема емкостного датчика (Баратрона): 1 - диафрагма; 2 - электроды

Сенсор датчика Баратрон состоит из металлической ячейки, разделенной на две части туго натянутой плоской металлической диафрагмой (1), с одной стороны которой расположены электроды (2). Электроды с диафрагмой образуют две переменные емкости, которые включены в плечи измерительного
моста. Когда давление по обеим сторонам диафрагмы одинаково, мост сбалансирован. Изменение давления в одной из камер деформирует диафрагму, изменяет емкости, разбалансируй мост. Полученный сигнал дисбаланса усиливается и демодулируется, образуя на выходе сигнал постоянного тока.

В настоящее время все сенсоры изготавливаются с электродами, расположенными с одной стороны от диафрагмы. Таким образом, газ, давление которого необходимо измерить, будет находиться в контакте только с камерой, выполненной из нержавеющей стали или инконеля. Это позволяет проводить измерения, зависящие от рода газа, и использовать датчик Баратрон для измерения давления загрязненных, коррозийных, агрессивных, радиоактивных газов, смесей газов неизвестного состава, а также очень чистых газов.

В абсолютной модели с опорной стороны давление доводится до 10-7 мм рт. ст., оно поддерживается в течение длительного времени химическим геттером. В дифференциальной модели камера с электродами открыта, в нее подается опорное давление, что обеспечивает прямое измерение дифференциального давления с наименьшей погрешностью. В модели избыточного давления камера с электродами сообщается с атмосферой. Электроды выполнены из керамики, покрытой палладием.

Одним из главных преимуществ датчиков Баратрон является их высокая точность (от 1 до 0,05 % от показания) при широком диапазоне измерения давлений (от 3 до 5 декад). Например, Баратрон 690 с полной шкалой (верхним пределом, ВП) 1000 Тор и точностью 0,12 % от показания обеспечивает измерения с указанной точностью в диапазоне от 10-2 до 1000 Тор, т. е. пять декад. Точность датчиков Баратрон является суммой ошибок, вызванных нелинейностью, гистерезисом, неповторяемостью, и определяется в процентах от показания.

Все описанные факторы определяются конструктивными особенностями и калибровкой каждого датчика.
Температурные изменения являются внешним фактором, т. к. определяются окружающей средой. Поэтому температурные ошибки приводятся отдельно в виде температурных коэффициентов.

Нет товаров, соответствующих выбору

Страница в разработке - прямо сейчас здесь нет актуальных товаров, соответствующих вашему выбору.
Но у нас есть эта техника. Поэтому свяжитесь с нами по телефону или Email за информацией.