Инструменты для вакуумных измерений

Таблица 4.1. Рабочие диапазоны давлений, измеряемых вакуумметрами.

Показания не зависят от рода газов 
Показания зависят от рода газов 

 

Тип вакуумметра / мм рт. ст. 10-12 10-11 10-10 10-9 10-8 10-7 10-6 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 100 101 102 103
Тензодатчик                           + + + + +
Стрелочный                           + + + + +
Мембранно-емкостной                         + + + + + +
                      + + + + + +  
                    + + + + + +    
                  + + + + +        
                + + + + +          
Термопарный                     + + + + +      
Конвекционный                   + + + + + + + + +
Вакуумметр Пирани                   + + + + + + + + +
Инверсно-магнетронный       + + + + + + + + +            
Широкодиапазонный       + + + + + + + + + + + + + + +
Ионизационный   + + + + + + + + + + +            

рабочие диапазоны давлений вакуумметров

 

Простые инструменты

Некоторые производители предлагают вакуумные инструменты, которые выполняют одинарные измерения или содержат несколько датчиков одного и того же типа (рис. 22).

простые вакуумметры

Рис. 22. Простые вакуумметры: а - конвекционный; б - термопарный.

Они предлагаются либо с аналоговыми, либо вакуумметры цифровые с цифровыми дисплеями, аналоговыми выходами «самописца» и реле. Некоторые также имеют выход для непосредственного сопряжения с компьютерами с целью управления процессами - это электронный вакуумметр.

Комбинированные или модульные инструменты

В тех случаях, когда необходимо измерять большой диапазон давлений, требуется комбинация датчиков различного типа. В этом случае вакуумметры представляют собой сложную измерительную систему. В последнее время эти комбинированные приборы стали появляться в модульном исполнении, с взаимозаменяемыми печатными платами для каждого типа необходимого датчика.

В состав модульного вакуумметра могут входить следующие инструменты:

От 1 до 10 бар Мембранный вакуумметр (положительное давление)
1 - 1000 мм рт. ст. Мембранный вакуумметр
1, 10, 100, 1000, 10 000 мм рт. ст. Мембранно-емкостный вакуумметр
От 10-3 до 1000 мм рт. ст. Конвекционный вакуумметр
От 1 до 20 000 мм рт. ст. Термопарный вакуумметр
От 10-7 до 10-3 мм рт. ст. Вакуумметр с холодным катодом
От 10-11 до 10-2 мм рт. ст. Вакуумметр с холодным катодом
От 10-11 до 10-3 мм рт. ст. Вакуумметр с горячим катодом

Примеры этих комбинированных приборов, предлагаемых различными производителями, приведены на рис. 23.

комбинированные вакуумметры

Рис. 23. Комбинированные вакуумметры.

Интеллектуальные трубчатые датчики

Для некоторых видов применения прибор с дисплеем не требуется. В этом случае используется «интеллектуальный» («умный» или «активный») датчик. Датчик содержит свою собственную электронику. Он питается от внешнего источника и обеспечивает выходной сигнал (обычно с напряжением до 10 вольт или цифровой коммуникационный интерфейс). Затем этот сигнал поступает в систему управления пользователя или на компьютер (рис. 24).

интеллектуальные датчики

Рис. 24. Интеллектуальные датчики.

Группа РОСВАКУУМ

Адрес: 107023 Россия, г. Москва, Электрозаводская улица, 21

Часы работы офиса: с 9:00 до 18:00 по Москве.

 

Телефон: +7 (495) 664-22-07

E-mail: baza@vacuumpro.ru

 

Чтобы заказать бесплатный подбор оборудования, отправить заявку, запрос или получить консультацию инженеров - свяжитесь с нами по телефону или E-mail.

В базе 310 производителей и поставщиков вакуумного оборудования и техники (РФ, СНГ и зарубежные компании). Цены, наличие на складах и технические характеристики оборудования и техники уточняйте только по электронной почте E-mail.