Каталог вакуумметров Televac

Широкодиапазонный вакуумметр CC-10

Диапазон измерений: 760 - 10^-9 Topp.

Вакуумметр СС-10 - компактный широкодиапазонный вакуумметр со встроенным цифровым дисплеем, использующий самые современные сенсорные технологии. Для измерения вакуума прибор использует два датчика: в диапазоне от атмосферного давления до 10^-2 Торр работает высоконадежный кристаллический кварцевый датчик, если давление от 10^-2 до 10^-9 Торр используется двойной инверсно-магнетронный датчик с холодным катодом.

Для настройки прибора используется миниатюрная сенсорная панель управления. Показания давления отображаются на высококонтрастном зелено-голубом дисплее, три световых индикатора предназначены для индикации состояния реле вакуума. Широкодиапазонный вакуумметр СС-10 оснащен линейным выходом 0-10 В и цифровым интерфейсом RS 485 в стандартной комплектации.

Применения широкодиапазонного вакуумметра СС-10

Широкодиапазонный вакуумметр CC-10 нашел широкое применение в следующих сферах:

1. Промышленные и исследовательские вакуумные установки.
2. Нанесения оптических и функциональных тонких пленок.
3. Молекулярно-лучевая эпитаксия.
4. Вакуумные печи.
5. Ускорители и сверхвысоковакуумные исследовательские установки.
6. Электронная промышленность.
7. Осаждение тонких пленок из паровой фазы (PVD).

Преимущества широкодиапазонного вакуумметра СС-10

Широкодиапазонный вакуумметр Televac CC-10 не требует внешнего блока отображения - электроника и дисплей уже встроены (дополнительный дисплей может быть поставлен как опция). В приборе нет нитей накаливания, которые могут перегореть и которые нужно менять, вакуумметр не боится резкого повышения давления - для измерений в области высокого вакуума используется инверсно-магнетронный принцип. В отличии от других вакуумметров с тем же принципом измерения, СС-10 значительно более стоек к загрязнениям датчика: в измерительной камере имеются две области разряда, расположенные одна за другой, корпус прибора специально спроектирован для легкой очистки.

В комплекте с широкодиапазонным вакуумметром Televac CC-10 Вы можете заказать комплект для подключения к ПК, включающий конвертер RS485-USB и специализированную программу, позволяющую отображать показания вакуумметра на экране ПК, управлять всеми функциями вакуумметра и производить архивирование результатов измерений. Программа имеет интерфейс на русском языке.

Описание встроенных датчиков вакуума

Низковакуумный датчик представляет собой простой кварцевый осциллятор, подобный тому, который используется в наручных кварцевых часах. Электрический импеданс кварцевого осциллятора зависит от давления газа действующего на датчик, т.к. газ, действую на поверхность осциллятора, оказывает сопротивление колебаниям. Кристаллический датчик измеряет электрический импеданс кварцевого осциллятора.

Двойной инверсно-магнетронный датчик с холодным катодом измеряет давление, ионизируя остаточный газ в ионизационной камере. Цилиндрический корпус датчика используется как катод и на него продается нулевой потенциал, на анод расположенный в центре ионизационной камеры при работе подается потенциал более +4000 Вольт. Магнитная система удерживает свободные электроны в области датчика, заставляя их двигаться по эпициклойдам внутри циллиндрического катода. Электроны при столкновениях с молекулами газа вызывают его ионизацию. Ионы движутся к катоду и при их соударениях с катодом происходит эмиссия вторичных электронов, ток которых пропорционален ионному току.

В отличии от многих классических ионизационных датчиков, высоковакуумный датчик вакуумметра СС-10 не имеет нагретого катода, поэтому может длительно работать при высоком давлении и значительно более надежен и долговечен.

Спецификация для широкодиапазонного вакуумметра СС-10

1. Диапазон измерений: 760 - 10^-9 Topp.
2. Единицы измерения: Торр (мм. рт. ст), мбар, Па.
3. Тип датчиков: кристаллический кварцевый датчик, двойной инверсно-магнетронный датчик с холодным катодом.
4. Дисплей: встроенный, опционально можно заказать дополнительный внешний дисплей.
5. Аналоговый выход: сине-зеленый цифровой дисплей для отображения давления и настроек, световые индикаторы.
6. Реле вакуума: для отображения срабатывания вакуумного реле по трем точкам.
7. Цифровой интерфейс: RS485, D-sub разъем "мама", имеется возможность подключать к компьютеру.
8. Присоединительные вакуумные фланцы: 0-10 В, два типа выходного сигнала: логарифмический и комбинированный.
9. Питание: три встроенных реле вакуума, каждое с двумя независимо настраиваемыми точками.
10. Рабочая температура: до 50 °C.
11. Температура прогрева: до 150 °C (со снятым электронным блоком).
12. Габаритные размеры: 9,4х7х16 см.
13. Вес: 699 г.

Информация для заказа широкодиапазонного вакуумметра СС-10

Наименование	Каталожный номер
СС-10 широкодиапазонный вакууметр, KF25	2-7980-031
СС-10 широкодиапазонный вакууметр, KF40	2-7980-032
СС-10 широкодиапазонный вакууметр, CF40	2-7980-052
Дополнительный внешний дисплей	2-7900-098
Кабель 3м для внешнего дисплея	2-9870-010
Кабель 6м для внешнего дисплея	2-9870-020
Блок питания для СС-10	2-7900-097