+7 (495) 664 22 07 baza@vacuumpro.ru

Применение геттерных насосов

Геттерные насосы используются в самых разнообразных случаях применения, включая небольшие сосуды Дьюара, герметизированные электронные устройства, галоидные разрядные светильники и ускорители больших частиц. Они представляют особую ценность благодаря своей способности откачивать водород, поэтому используются в испытательных термоядерных реакторах. Они также показали успешную работу в ускорителях частиц, обеспечивая распределительную насосную систему, работающую при температуре окружающей среды и не имеющую движущихся частей.

Геттерные насосы существуют в виде автономных насосных установок, оснащенных интегрированными нагревателями в диапазоне, начиная от гранул размером, измеряемым в миллиметрах, имеющих быстроту действия 1 л/с или меньше, и заканчивая насосами с быстротой действия до 750 литров/сек. На рис. 8 показан пример большого геттерного насоса. Там, где требуются очень большие быстроты откачки, насосы поставляют в виде модулей (рис. 9), которые могут быть вмонтированы внутрь вакуумной камеры, чтобы обеспечивать откачку, близкую к источнику газовой нагрузки. В этих случаях они используются вместо криопанелей для того, чтобы обеспечить очень высокую общую быстроту откачки.

Геттерный насос может откачивать только реактивные газы, таким образом, следует предусмотреть дополнительную откачку для удаления благородных газов или метана. Его достоинством является то, что он не привносит никаких значительных примесей в большинстве видов применения.

Эффективная быстрота действия в большой степени зависит от рабочей температуры и конкретных видов газа, подлежащих откачке. В тех случаях, когда водород или его изотопыявляются основной газовой нагрузкой, большая быстрота действия может поддерживаться при температуре окружающей среды, при этом откачиваются большие количества газа. Для таких видов применения срок службы геттера ограничен его хрупкостью, а не насыщением.

Эксплуатация при повышенной температуре обеспечивает более непрерывную откачку для всех газов. И наоборот, эксплуатация пористых геттеров при низких температурах может потребовать периодического нагревания для реактивации геттера путем предоставления возможности откачиваемому газу диффундировать из области рядом с поверхностью в объем материала геттера. Быстрота действия всех геттеров уменьшается в зависимости от количества откачанного газа, поэтому этому воздействию спада следует уделять большое внимание для каждого случая применения.

Комбинация геттерного насоса с нераспыляемым геттером с магнитным электроразряд- ным насосом обеспечивает значительную быстроту откачки водорода, что является особенно выгодным для видов применения очень низкого давления, а также вполне удовлетворительным методом откачки больших количеств водорода. Геттерный насос встраивается в корпус некоторых магнитных электроразрядных насосов, однако отдельный геттерный насос в комбинации с магнитным электроразрядным насосом обспечивает те же самые преимущества. Водород обратимо сорбируется всеми геттерными материалами, и отсюда геттер может регенерироваться нагреванием при использовании дополнительной системы откачки. Регенерационная характеристика делает геттерный насос очень полезным, когда требуется откачать большие количества водорода и его изотопов. Для таких случаев самоподдерживающиеся более толстые сечения геттера являются более предпочтительными по сравнению с теми формами, в которых активный материал покрывается тонким слоем на субстрате.
Обратите внимание на то, что геттерные насосы, как сублимационные насосы, обладают ограниченной емкостью для очень больших количеств газа, в особенности по сравнению с неограниченной способностью турбомолекулярного или диффузионного насоса.

Поскольку нераспыляемый геттерный материал в геттерном насосе потребляется только по мере откачки газа, насосы являются саморегулирующимися таким же образом, как и магнитные электроразрядные насосы. Это обеспечивает геттерным насосам значительное преимущество по сравнению с сублимационным насосом, оптимальный срок службы которого зависит от управления скоростью сублимации.

Нет товаров, соответствующих выбору

Страница в разработке - прямо сейчас здесь нет актуальных товаров, соответствующих вашему выбору.
Но у нас есть эта техника. Поэтому свяжитесь с нами по телефону или Email за информацией.