+7 (495) 664 22 07 baza@vacuumpro.ru

Предельное остаточное давление насоса и вакуумной системы

Следует проводить четкое различие между предельным остаточным давлением насоса и предельным остаточным давлением соединенной с ним вакуумной системы. Натекание газа во всей системе часто на порядок выше внутреннего газовыделения в насосе, поэтому в системе можно и не достичь величины предельного остаточного давления насоса. Обычно данные об эффективности работы насоса приводятся для минимального объема и площади поверхности на впуске в насос. Кроме величины натекания газа, проводимость впускных каналов будет также влиять на остаточное давление системы.

Достижение предельного остаточного давления в системе редко является главной целью. При некоторых видах работ минимальное парциальное давление одного газа, в частности паров масла, может иметь критическое значение, в то время как более высокие значения давления других газов будут менее важны. Если после откачки внутри сосуда должна быть выполнена определенная работа, обычно это приводит к дополнительному газовыделению. Поэтому если при данном давлении нужно произвести процесс или эксперимент, предельное остаточное давление системы должно быть ниже. Удобным и очень приблизительным правилом для работы, создающей низкое газовыделение, является задание конечного давления системы в 10 раз ниже, чем нужно для проведения процесса.
В целом впускное давление высоковакуумного насоса может выражаться в виде суммы парциальных давлений различных газов и предела степени сжатия:

$$P_{1}= (\sum \frac{Q_{i}}{S_{i}})_{ext} + (\sum \frac{Q_{i}}{S_{i}})_{int} + \sum \frac{p_{2i}}{K_{i}} , (2.16)$$

где р1 - это впускное давление, Qi- потока газа (производительность насоса) для конкретного газа, р2i - парциальное давление конкретного газа на выпускной стороне насоса, а Кi - предельная степень сжатия для конкретного газа.

Первое слагаемое представляет собой проницаемость газа извне, второе - газовыделение с поверхностей впускной секции насоса. Предельному остаточному давлению насоса (не системы!) соответствуют два последних слагаемых. Однако не будет преувеличением сказать, что производители и потребители вакуумных насосов традиционно игнорировали последнее слагаемое в течение почти 100 лет. Это, безусловно, справедливо для механических и пароструйных насосов (так называемых диффузионных насосов). Влияние степени сжатия и предельных остаточных давлений, как правило, рассматривается только для турбомолекулярных насосов, созданных сравнительно недавно. Для газопоглощающих насосов слагаемое, выражающее степень сжатия, должно быть заменено количеством откачанных десорбированных молекул.

Не зная состав газа и предельной степени сжатия для каждого газа, присутствующего в системе, как правило, невозможно определить, от чего зависит остаточное давление в вакуумной системе.

В силу огромного диапазона давлений при откачке вакуумной камеры, начиная от атмосферного давления до сверхвысокого вакуума, не представляется возможным по практическим соображениям выполнить необходимую откачку с помощью одного насоса. Как правило, последовательно соединяют по крайней мере два насоса. Для того чтобы понимать влияние работы этих насосов на впускное давление, необходимо знать не только общее давление, установившееся в канале между двумя насосами, но также парциальные давления различных газов. Однако, даже если бы на выпуске насоса измерялось парциальное давление, нелегко было бы сделать выводы на основании известных параметров эффективности работы насоса.

Большинство высоковакуумных насосов не работают полностью в диапазоне молекулярного потока. Поэтому взаимодействие газов может происходить уже внутри насоса, предсказать эти процессы не так легко на основании первичных данных эффективности работы. Даже если степени сжатия известны для конкретного насоса и газа, присутствие второго газа может изменить ожидаемые значения предельной степени сжатия. Поэтому очень важно, чтобы специалист по высоковакуумной технике был в курсе различных воздействий, обычно не приводимых в технических бюллетенях или учебниках по технологии высокого вакуума, и знал технические характеристики конкретного насоса и детали его конструкции. Традиционные рекламные спецификации эффективности работы насоса не дают полную картину. Например, в них не приводится никакой информации о влиянии выпускного давления на эффективность работы насоса.

Нет товаров, соответствующих выбору

Страница в разработке - прямо сейчас здесь нет актуальных товаров, соответствующих вашему выбору.
Но у нас есть эта техника. Поэтому свяжитесь с нами по телефону или Email за информацией.