+7 (495) 664 22 07 baza@vacuumpro.ru

Безклапанные вакуумные системы

Бесклапанные системы вакуумной откачки, как правило, применяются, когда продолжительность откачки имеет меньшее значение, а сам процесс занимает много времени. Их можно встретить в больших, термически обработанных, сверхвысоковакуумных камерах, в силу отсутствия и/или крайне высокой стоимости клапанов, совместимых с предложенными уровнями рабочего давления. Однако аналитические системы, работающие в условиях сверхвысокого вакуума, можно подвергать термообработке, и в них успешно используются вакуумные затворы. Бесклапанная система (рис. 7), как правило, обеспечивает большую быстроту откачки камеры и в силу продолжительной работы при малом потоке газа в них можно применять меньшие форвакуумные насосы. Размер этого насоса подбирается таким образом, чтобы поддерживать непрерывную производительность высоковакуумного насоса при низких значениях впускного давления 10 6Торр и ниже. Однако бесклапанная система также имеет ряд недостатков. Требуются более сложные процедуры для обеспечения максимальной чистоты в рабочей камере и минимального загрязнения от насоса.

система без клапанов

Рис. 7. Схема бесклапанной вакуумной системы

Для минимизации загрязнения камеры от пароструйных насосов рекомендуется сохранить в рабочем состоянии по крайней мере одну из перегородок или ловушек, пока производится термообработка вакуумной камеры. Когда впускные каналы находятся при повышенной температуре, скорость миграции жидкости увеличивается. При значениях температуры, близких 200 °С, пары масла не конденсируются в камере и впоследствии откачиваются пароструйным насосом. Они адсорбируются, поэтому если чистота является существенным требованием, необходимо использовать ловушки во время термообработки и, в особенности, во время охлаждения, когда в камере будет конденсироваться очень тонкая (невидимая) пленка масла. Например, умножители вторичных электронов очень чувствительны к такой адсорбции. Образование пленки сводится к минимуму постоянным присутствием по крайней мере одной из перегородок.

Пароструйный насос должен охлаждаться до безопасного уровня, прежде чем можно вторично снижать давление в камере. Это делает обслуживание затруднительным и требующим много времени. Отключение энергии делает необходимым незамедлительное выключение системы для защиты оборудования. Эксплуатационные затраты на криоперегородки выше, испытание на наличие утечек и поиск утечек менее удобны и требуют больше времени.

Нет товаров, соответствующих выбору

Страница в разработке - прямо сейчас здесь нет актуальных товаров, соответствующих вашему выбору.
Но у нас есть эта техника. Поэтому свяжитесь с нами по телефону или Email за информацией.