Криогенные насосы GVT ICP

Криогенные насосы серии ICP от GVT Genesis. Компания GVT Genesis была основана четверть века назад, но уже заявила себя конкурентоспособной в выпуске вакуумного оборудования высокого качества. Производственные мощности компании находятся в Южной Корее.

 

криогенный насос gvt icp

 

 

Особенности

При функционировании крионасосы не перемещают внутри корпуса молекулы газа, а просто замораживают их с помощью специальных криогенных головок, поэтому отсутствуют движущиеся детали и жидкая среда, способная контактировать с вакуумом. Благодаря этому все криогенные изделия полностью исключают загрязнение рабочего объёма в процессе откачки - на выходе получаем идеально чистый вакуум. Внутренняя часть крионасоса покрывается весьма стойким медно-никелевым сплавом, а специальные криопанели крепятся при помощи индиевой пайки в результате изделия могут откачивать агрессивные газы без какого-либо вреда.

Основным преимуществом криогенных изделий специалисты считают довольно высокие скорости откачки при сравнительно небольших габаритах. К другим достоинствам можно отнести:

  1. Регенерация в автономном режиме.
  2. Бесперебойная работа.
  3. Простое обслуживание.

 

Применение

  1. Полупроводниковое производство.
  2. Производство плоских дисплеев.
  3. Оборудование для нанесения напыления.
  4. Установки для различных испытаний.

 

Технические характеристики криогенных насосов GVT ICP

Наименование \ № изделия

150

200

200 L

250 / L

300

320 / L

320+/ L

Скорость откачки, л/с

N2

H2

Ar

H2O

660

1300

550

2200

1500

2200

1200

4000

2500

5200

2000

6500

3000

4900

2500

10000

3200

7800

2665

11000

Пропускная мощность насоса,  СТД л

Ar

H2

 

 860

10

 

 1100

30

 

 1500

10

 

 2000

30

 

 2100

30

 

 2100

38

Пропускная способность кроссовера,

л

 

 150,0

 

 300,0

Время перезарядки,

мин

 

80,0

 

85,0

 

60,0

 

120,0

 

135,0

 

97,0

Давление, торр

<10-9

max скорость, торрхл/с

Ar

 

6,0

 

10,0

 

13,0

Время регенерации, мин

полная

быстрая

 

 100,0

45,0

 

 115,0

45,0

 

 90,0

45,0

 

 150,0

60,0

 

 160,0

60,0

 

 175,0

80,0

 

 135,0

70,0

вес, кг

11,0

22,0

21,0

26,0

34,0

34,0 / 21

Группа РОСВАКУУМ

Адрес: 107023 Россия, г. Москва, Электрозаводская улица, 21

Часы работы офиса: с 9:00 до 18:00 по Москве.

 

Телефон: +7 (495) 664-22-07

E-mail: baza@vacuumpro.ru

 

Чтобы заказать бесплатный подбор оборудования, отправить заявку, запрос или получить консультацию инженеров - свяжитесь с нами по телефону или E-mail.

В базе 310 производителей и поставщиков вакуумного оборудования и техники (РФ, СНГ и зарубежные компании). Цены, наличие на складах и технические характеристики оборудования и техники уточняйте только по электронной почте E-mail.