Криогенные насосы GVT ICP
Криогенные насосы серии ICP от GVT Genesis. Компания GVT Genesis была основана четверть века назад, но уже заявила себя конкурентоспособной в выпуске вакуумного оборудования высокого качества. Производственные мощности компании находятся в Южной Корее.
Особенности
При функционировании крионасосы не перемещают внутри корпуса молекулы газа, а просто замораживают их с помощью специальных криогенных головок, поэтому отсутствуют движущиеся детали и жидкая среда, способная контактировать с вакуумом. Благодаря этому все криогенные изделия полностью исключают загрязнение рабочего объёма в процессе откачки - на выходе получаем идеально чистый вакуум. Внутренняя часть крионасоса покрывается весьма стойким медно-никелевым сплавом, а специальные криопанели крепятся при помощи индиевой пайки в результате изделия могут откачивать агрессивные газы без какого-либо вреда.
Основным преимуществом криогенных изделий специалисты считают довольно высокие скорости откачки при сравнительно небольших габаритах. К другим достоинствам можно отнести:
- Регенерация в автономном режиме.
- Бесперебойная работа.
- Простое обслуживание.
Применение
- Полупроводниковое производство.
- Производство плоских дисплеев.
- Оборудование для нанесения напыления.
- Установки для различных испытаний.
Технические характеристики криогенных насосов GVT ICP
Наименование \ № изделия |
150 |
200 |
200 L |
250 / L |
300 |
320 / L |
320+/ L |
Скорость откачки, л/с N2 H2 Ar H2O |
660 1300 550 2200 |
1500 2200 1200 4000 |
2500 5200 2000 6500 |
3000 4900 2500 10000 |
3200 7800 2665 11000 |
||
Пропускная мощность насоса, СТД л Ar H2 |
860 10 |
1100 30 |
1500 10 |
2000 30 |
2100 30 |
2100 38 |
|
Пропускная способность кроссовера, л |
150,0 |
300,0 |
|||||
Время перезарядки, мин |
80,0 |
85,0 |
60,0 |
120,0 |
135,0 |
97,0 |
|
Давление, торр |
<10-9 |
||||||
max скорость, торрхл/с Ar |
6,0 |
10,0 |
13,0 |
||||
Время регенерации, мин полная быстрая |
100,0 45,0 |
115,0 45,0 |
90,0 45,0 |
150,0 60,0 |
160,0 60,0 |
175,0 80,0 |
135,0 70,0 |
вес, кг |
11,0 |
22,0 |
21,0 |
26,0 |
34,0 |
34,0 / 21 |
Группа РОСВАКУУМ
Адрес: 107023 Россия, г. Москва, Электрозаводская улица, 21
Часы работы офиса: с 9:00 до 18:00 по Москве.
Телефон: +7 (495) 664-22-07
E-mail: baza@vacuumpro.ru
Чтобы заказать бесплатный подбор оборудования, отправить заявку, запрос или получить консультацию инженеров - свяжитесь с нами по телефону или E-mail.
В базе 310 производителей и поставщиков вакуумного оборудования и техники (РФ, СНГ и зарубежные компании). Цены, наличие на складах и технические характеристики оборудования и техники уточняйте только по электронной почте E-mail.