Ограничения крионасосов

Регенерация

Крионасосы, безусловно, требуют регенерации. Сорбционная емкость по аргону и азоту достаточно высокая для того, чтобы насос мог работать в течение недели, пропуская большие нагрузки технологического газа, однако после этого следует провести регенерацию в течение 1-3 ч. То же самое относится и к установкам ионной имплантации. Некоторые виды применения характеризуются такими высокими газовыми нагрузками, что требуется ежедневная регенерация.

Теплоемкость

Крионасосы характеризуются ограниченной теплоемкостью. Технологические процессы с повышенными значениями температуры в технологической камере могут привести к перегреву крионасоса. Тепловое экранирование может сократить общую быстроту действия и привести к тому, что целесообразно будет применить другой тип насоса.

Откачиваемые газы

Крионасосы не могут обеспечить действия во всех технологических процессах. Системы, создающие высокие газовые нагрузки водорода или гелия, не подходят для применения в них крионасосов. Технологические процессы, предполагающие использование высокотоксичных, пожароопасных или других опасных газов в больших количествах, не должны предусматривать использование криогенных насосов в связи с недостаточной безопасностью оператора. Сюда, среди прочих, входят такие газы, как арсин, фосфин, силан и метан, а также озон. В вакуумных печах, в которые загружаются масляные детали, следует предусмотреть другой тип насоса.