+7 (495) 664 22 07 baza@vacuumpro.ru

Откачка водяного пара

Холодная поверхность, температура которой поддерживается на уровне 105-135 К, имеет очень высокую эффективность конденсации водяного пара. При таких температурах данная поверхность не будет конденсировать никаких других обычных газов, за исключением паров тяжелых углеводородов. При наличии только охладителя одной ступени, работающего приблизительно при 107 К, имеются альтернативные конструкции, обеспечивающие экономную, высокоскоростную вспомогательную откачку водяных паров в вакуумных видах применения. В некоторых полупроводниковых технологических процессах, например в травлении, уменьшение водяного пара в результате дает более низкие показатели счета частиц на поверхностях пластин.

В случае технологических камер в системах с загрузочным шлюзом охладитель может устанавливаться на внешней стенке камеры, причем холодный наконечник цилиндра будет вставляться в отверстие малого диаметра в стенке камеры. К станции нагревания охладителя внутри камеры подсоединена медная или алюминиевая пластина. При обшей быстроте откачки водяного пара 10-20 л/с на квадратный сантиметр площади пластины размер пластины будет соответствовать тепловой нагрузке на охладитель. Толстая пластина имеет более низкие температурные градиенты, поэтому может осуществлять быструю откачку при более высоких температурах, хотя более тонкая пластина будет быстрее охлаждаться.

крионасос с конденсирующим кольцом

Рис. 12. Система, состоящая из водяного криогенного насоса с конденсирующим кольцом (источник: CTI-Cryogenics)

В насосной системе для откачки водяного пара, показанной на рис. 12, перед турбомо- лекулярным насосом используется холодное кольцо. Поскольку турбомолекулярные насосы являются относительно дорогостоящими при той же быстроте откачки, что и криогенные насосы, экономически целесообразно добавить одноступенчатый криогенный насос для откачки водяного пара. Тогда достигаются высокая быстрота откачки водяного пара, необходимая для чистоты процесса, и достаточно большая скорость откачки технологического газа. Конфигурация массива криопанелей водяного насоса создает незначительные потери в быстроте откачки кислорода, гелия или водорода для турбонасоса, собирая при этом 95% сопутствующего водяного пара. Комбинация турбомолекулярного насоса/водя- ного насоса полезна в тех случаях, когда технологические газы невозможно откачать стандартным криогенным насосом.

Нет товаров, соответствующих выбору

Страница в разработке - прямо сейчас здесь нет актуальных товаров, соответствующих вашему выбору.
Но у нас есть эта техника. Поэтому свяжитесь с нами по телефону или Email за информацией.