+7 (495) 664 22 07 baza@vacuumpro.ru

Применение криогенных насосов

Высоковакуумные испарители - это первый вид коммерческого применения крионасосов, когда они пришли на смену диффузионным насосам. Отсутствие обратного потока масляного пара и способность достигать значения давления около 10-7 Торр и ниже делают крионасосы привлекательными для использования при нанесении разнообразных электронных и оптических тонких пленок путем испарения или металлизации напылением. Модели крионасосов сверхвысокого вакуума работают в пределах от 10-8 до 10-11 Торр в системах, изучающих физику поверхности и молекулярно-пучковую эпитаксию. При производстве полупроводников крионасосы работают в установках вакуумного напыления металлов или системах для напыления металлизированных покрытий при 5x10-3 Торр и на конечных станциях установки ионной имплантации и линий пучка. Процессы ионного травления с помощью инертных газов, в частности таких, как аргон, а также реактивных газов, происходят в вакууме при откачке крионасосами. Промышленное оборудование, в частности электроннолучевые сварочные аппараты, вакуумная пайка, а также печи термообработки, основаны на свободной от масла среде камер с откачкой криогенными насосами для высококачественной обработки металла. НАСА и аэрокосмические компании пользуются большими крионасосами 90-120 см в диаметре для откачки имитационных камер космического пространства длиной 33 м до 10-8 Торр, хотя при этом используются насосы гораздо большего размера с несколькими охладителями и LN2 для части охлаждения. Малые криогенные насосы диаметром 100 мм используются на загрузочном шлюзе вакуумных систем и в аналитических приборах, в частности таких, как системы вторичного ионного масс- спектрометра. Наиболее популярные криовакуумные насосы имеют диаметр 200 мм, и большинство из них используются в коммерческих полупроводниковых производственных системах. Типичные характеристики крионасоса диаметром 200 мм приведены ниже:

характеристика крионасоса 200мм

Группа РОСВАКУУМ

Адрес: 107023 Россия, г. Москва, Электрозаводская улица, 21

Часы работы офиса: с 9:00 до 18:00 по Москве.

 

Телефон: +7 (495) 664-22-07

E-mail: baza@vacuumpro.ru

 

Чтобы заказать бесплатный подбор оборудования, отправить заявку, запрос или получить консультацию инженеров - свяжитесь с нами по телефону или E-mail.

В базе 310 производителей и поставщиков вакуумного оборудования и техники (РФ, СНГ и зарубежные компании). Цены, наличие на складах и технические характеристики оборудования и техники уточняйте только по электронной почте E-mail.