+7 (495) 664 22 07 baza@vacuumpro.ru

Осаждение испарением

Осаждение тонких пленок посредством испарения осуществляется для получения оптических и электронных покрытий. Испарение может использоваться для самых разнообразных материалов покрытия и применительно к более широкому диапазону форм подложек, чем в случае ионного распыления. Крионасосы хорошо работают в системах осаждения, поскольку обычно на них не действуют пары осажденных материалов, и они создают условия чистого вакуума. Испарение химически активных металлов, например алюминия, преобразует остаточный водяной пар в оксид металла и водород с невероятной скоростью, поэтому имеет смысл откачать камеру до базового давления ниже 10-5 Торр, прежде чем начинать осаждения во избежание преждевременного использования сорбционной емкости криогенного насоса по водороду. Кроме того, могут потребоваться тепловые и оптические перегородки порта откачки для ограничения излучения электронного луча и других источников, которые могут вызывать перегрузку крионасосов.

Если используется ионное распыление вместе с кислородом при значениях парциального давления в пределах от 10-5 до 10-4 Торр, в выпускаемых газах во время регенерации насоса могут быть обнаружены следы озона. Хотя во время процессов ионного осаждения могут генерироваться только части на миллион озона, выпускаемый газ при регенерации криогенного насоса должен поступать в отдельную трубу для обеспечения того, чтобы озон не попал в воз

дух помещения. Это также предотвратит реакцию с масляным паром или другими потенциальными видами топлива в общей трубе установки. Для удовлетворения требований местного законодательства могут потребоваться установки разложения озона.

Пары металлов, оксидов и другие испарившиеся соединения могут достигать впускного массива крионасоса. Там они будут осаждаться на слой льда и экран теплового излучения. Некоторые могут достигать внешних поверхностей массива второй ступени (древесный уголь). Как правило, эти отложения остаются после регенерации. Хотя они могут постепенно вырастать до значительного размера, они будут оказывать незначительное воздействие на быстроту действия или сорбционную емкость. В обычном порядке эти отложения могут удаляться с впускного массива с годовым интервалом (или более часто) при проведении технического обслуживания системы, путем снятия массива с насоса и очистки его щеткой, смоченной в моющем средстве.

Поскольку многие камеры осаждения имеют весьма большие объемы, может потребоваться проводить их предварительное разрежение для снижения значений базового давления до перехода на крионасос. Это приводит к образованию обратного потока масла от механического насоса в линии форвакуумирования и технологическую камеру. Стечением времени любое масло, сконденсировавшееся в камере, в конце концов будет мигрировать в криогенный насос. Возможным результатом этого является загрязнение активированного угля массива криопанелей второй ступени с сокращением в экстремальных случаях сорбционной емкости по водороду. Использование роторных насосов между насосом с масляным уплотнением и камерой уменьшает обратный поток, когда необходимы значения переходного давления от 0,01 до 0,1 Торр. В противном случае резкий переход при соответствующем давлении будет, по крайней мере, сокращать время, в течение которого форвакуумный насос работает в переходном потоке.

Нет товаров, соответствующих выбору

Страница в разработке - прямо сейчас здесь нет актуальных товаров, соответствующих вашему выбору.
Но у нас есть эта техника. Поэтому свяжитесь с нами по телефону или Email за информацией.