+7 (495) 664 22 07 baza@vacuumpro.ru

Обслуживание магнитных электроразрядных насосов

Поскольку в магнитном электроразрядном насосе нет движущихся деталей, существует всего лишь несколько общих проблем. Выход из строя источника питания - это относительно редкая неисправность. Большинство поставляемых насосов имеет автоматическую защиту от перегрузки, когда мощность, потребляемая насосом, превышает проектную величину, что, например, будет происходить, если всплеск давления выше 10-3 мм рт. ст. вызывает общий тлеющий разряд высокого тока. Когда насос запускается, эта защита от перегрузки должна быть выключена, но должна быть восстановлена, как только давление начнет падать, скажем, в диапазон 10-4 мм рт. ст. В насосе, который работает на пределе, мгновенные дуги внутри насоса могут приводить к включению защитной цепи, которая поэтому должна быть оставлена выключенной, когда возникают эти проблемы, однако следует внимательно следить за насосом на протяжении фазы пуска до тех пор, пока дугообразование не прекратится после падения давления на достаточную величину.

После продолжительного использования многие насосы приобретают усы, которые служат в качестве источников эмиссии поля для электронов в присутствии высоких электриче

ских полей. Условия формирования этих усов определены нечетко, но они создают локализированные разряды, обеспечивая более высокие токи, чем это ожидалось. Присутствие разрядов может быть спрогнозировано путем сравнения давления в вакуумной камере с помощью ионизационного вакуумметра сдавлением, показываемым током насоса. Когда насос работает нормально, указываемое им давление будет ниже давления в системе, но если появились локализированные разряды, то справедливо обратное. Разряды не обеспечивают достаточную откачку, и если потребление тока слишком высокое, они могут приводить к тому, что напряжение, приложенное к насосу, будет падать ниже своей проектной величины.
Две методики использовались для удаления усов в ионном насосе. Первая известна под названием Hi-Potting и представляет собой процедуру, широко применяемую в настройке высоковольтных вакуумных устройств. Она заключается в мгновенном приложении ограниченного по току потенциала порядка 20 кВ к насосу, находящемуся под вакуумом. Данная процедура позволяет удалить усы посредством бомбардировки ионами. Вторая процедура заключается в прогоне ионного насоса при давлении кислорода в диапазоне 10-5-10-6 мм рт. ст. в надежде разрушить усы посредством химической реакции. Данные процедуры не всегда бывают успешными и должны использоваться в качестве крайней мере, если невозможна замена насоса.

Уже упоминались проблемы, которые возникают из-за отслаивания толстых пленок титана со стенок насоса. Денисон [26] пришел к выводу, что проблемы отслаивания в сублимационных насосах могут быть значительно сокращены, если применять термическую обработку после каждого воздействия атмосферы, которая, по всей видимости, удаляет адсорбированную воду. Термообработка является нереальной в случае магнитного электроразрядного насоса, если нельзя использовать дополнительную насосную систему, но только что приведенные меры предосторожности, заключающиеся в том, что необходимо либо оставить насос с выключенным клапаном во время вентилирования системы, либо вентилировать насос с помощью сухого азота, должны сократить проблемы отслаивания.

Когда присутствуют усы или чешуйки, они могут создавать короткое замыкание. Также если насос работал при высоких значениях давления, на высоковольтном вводе или изоляторах анода могут находиться пленки титана. Эффективность откачки обычно будет сокращаться, если проблемы электрической утечки вызывают излишнее потребление тока от источника питания. В крайних случаях это может приводить к заметно низкому напряжению насоса, в то время как в других показание давления от тока насоса будет выше нормального. Проблему можно определить, если отсоединить источник питания и замерить электрическое сопротивление от высоковольтной клеммы до земли. Проверьте сопротивление обоими полюсами прибора, поскольку оно может быть низким в одном направлении и высоким в другом. Обратите внимание на то, что воздействие атмосферного давления на насосы часто будет резко увеличивать сопротивление, поэтому проверку сопротивления лучше всего делать, пока насос по- прежнему находится под вакуумом.

Серия резких ударов по боковой поверхности насоса иногда позволяет устранить короткое замыкание, а усы можно удалить посредством только что описанных процедур. Во многих случаях, однако, насос следует либо заменить, либо очистить. Первая мера - это предпочтительное решение проблемы, если исходить из того, что имеются и время, и деньги, однако возможна и очистка прямо на месте при условии принятия соответствующих мер предосторожности. Подробности рекомендуемых методик можно найти в старых руководствах по магнит

ным электроразрядным насосам, выпущенных в 1960-х гг. Процесс начинается с разборки, за которой следует механическая очистка стенок насоса. На этом этапе некоторые детали, такие, в частности, как изоляторы, следует заменить. Если катоды сильно разрушены эрозией, их также следует заменить. Будьте осторожны при снятии любых распыленных титановых пленок; они содержат большое количество непрореагировавшего металла, который может светиться или гореть, если его соскребывать со стенки. Обычно требуется химическое травление, включающее использование очень агрессивных ванн травления, содержащих азотную и фтористоводородную кислоту. В этих процедурах существенными являются все необходимые меры предосторожности для защиты глаз и кожи, поэтому желательно проведение процедур подготовленным персоналом.

Наконец, важно иметь в виду, что откачка магнитным электроразрядным насосом очень быстро падает до незначительных величин при значениях давления выше 10-3 мм рт. ст. Следовательно, если давление в системе измеряется с помощью тока ионного насоса, очень низкие показания могут указывать либо на очень низкое, либо на очень высокое давление.

Нет товаров, соответствующих выбору

Страница в разработке - прямо сейчас здесь нет актуальных товаров, соответствующих вашему выбору.
Но у нас есть эта техника. Поэтому свяжитесь с нами по телефону или Email за информацией.