+7 (495) 664 22 07 baza@vacuumpro.ru

Срок службы магнитных электроразрядных насосов

Номинальный срок службы магнитного электроразрядного насоса ограничен количеством титана или тантала, которое может распыляться, прежде чем будут разрушены катоды. В диодном насосе это происходит, когда катоды распыляются насквозь в участках соударения ионов, расположенных вдоль оси каждого анодного элемента. В триоде оно достигается, когда катоды начинают распадаться, часто вызывая при этом электрическое короткое замыкание в насосе. Скорость распыления пропорциональна рабочему давлению, обеспечивая, например, номинальный срок службы до 60 000 часов при 10-6 мм рт. ст. Это означает срок службы, равный всего лишь 600 часам при 10-4 мм рт. ст.; очевидно, что непрерывная эксплуатация насоса в этом диапазоне давления является нецелесообразной. На другом конце шкалы можно ожидать очень продолжительный срок службы при эксплуатации при 10-10 мм рт. ст. Факторы, приводящие к сокращению срока службы, включают отслоение распыленных пленок со стенок насоса, приводящее к электрическим коротким замыканиям, а также рост усов на электродах, приводящий к локализированным разрядам, когда усы служат в качестве источников электронной эмиссии. Отслоение происходит из-за плохого соединения титановой пленки со стенками насоса или с находящимися под ней слоями титана. Такой отказ редко происходит в насосе, который эксплуатируется непрерывно в состоянии сверхвысокого вакуума, но является широко распространенным в насосах, которые работают с частыми циклами от атмосферного давления. Воздействие атмосферы позволяет хемосорбции происходить на поверхности титана, за которой следует физическая адсорбция, в особенности водного пара. При последующей откачке хемосорбированные слои никогда не удаляются, а поглощенная вода полностью удалиться не может при отсутствии термической обработки. Загрязненная поверхность распыленного отложения обеспечивает всего лишь слабое соединение последующих отложений титана, приводя к отслоению.

Нет товаров, соответствующих выбору

Страница в разработке - прямо сейчас здесь нет актуальных товаров, соответствующих вашему выбору.
Но у нас есть эта техника. Поэтому свяжитесь с нами по телефону или Email за информацией.