+7 (495) 664 22 07 baza@vacuumpro.ru

Edwards nEXT

Обслуживание и продажа турбомолекулярных насосов Edwards nEXT. Турбомолекулярные установки компании Edwards обеспечивают эффективную работу и скорость откачки от 250 до 400 лошадиных сил. Степень сжатия гелия(Не) у установок Edwards nEXT составляет насосов от 3х105 до 1х108. Благодаря инновационным техническим решениям, в насосах данное серии удалось достигнуть высокого уровня давления, которое составляет 7,2х102 - 2х103 Па, по гелию(Не).

 

турбомолекулярный насос edwards next

 

Особенности

В турбомолекулярных установках Edwards nEXT использована гибридная система подшипников ротора. В нижней части насоса установлен керамический подшипник, в верхней специальная магнитная система подвеса. Данное решение позволяет добиться высокой скорости откачивания и сжатия. Интегрированный привод обеспечивает надежную работу при напряжении от 24 до 48 V постоянного тока, позволяя интегрировать установки Edwards в линии использующие контролеры TIC или TAG. Заводская установка потребления мощности в турбомолекулярных установках nEXT 80 Вт или 160 Вт.

 

Преимущества

  1. Интегрированная система контроля работы установки.
  2. Повышенная скорость работы, эффективное сжатие и откачка рабочего вещества.
  3. Простое техническое обслуживание, не требующее балансировки.
  4. Система подшипников не требует использования смазочных материалов.

 

Сферы применения

  1. Микроэлектроника.
  2. Полупроводниковая промышленность.
  3. Научные приборы, разрабатываемые для исследования электрофизических свойств микроструктур.
  4. Ускорители.
  5. Плазменное травление.
  6. Напыление плёнок.
  7. Ионная имплантация.

Технические характеристики турбомолекулярных насосов Edwards nEXT

Характеристика

nEXT240

nEXT300

nEXT400

Скорость откачки, л/с

N2

240,0

300,0

400,0

He

230,0

340,0

390,0

H2

165,0

280,0

325,0

Степень сжатия

N2

1,0Х1011

1,0Х1011

1,0Х1011

He

3,0Х105

1,0Х106

1,0Х108

H2

1,0Х104

5,0Х104

5,0Х105

Предельное остаточное давление, Па

6,0×10-6—5,0×10-8

6,0×10-6—5,0×10-8

1,0×10-6—1,0×10-8

Группа РОСВАКУУМ

Адрес: 107023 Россия, г. Москва, Электрозаводская улица, 21

Часы работы офиса: с 9:00 до 18:00 по Москве.

 

Телефон: +7 (495) 664-22-07

E-mail: baza@vacuumpro.ru

 

Чтобы заказать бесплатный подбор оборудования, отправить заявку, запрос или получить консультацию инженеров - свяжитесь с нами по телефону или E-mail.

В базе 310 производителей и поставщиков вакуумного оборудования и техники (РФ, СНГ и зарубежные компании). Цены, наличие на складах и технические характеристики оборудования и техники уточняйте только по электронной почте E-mail.