+7 (495) 664 22 07 baza@vacuumpro.ru

Технические характеристики турбомолекулярных насосов

Различия параметров, предоставляемых разными производителями, зависят от фактической конструкции (например конструкции лопасти, ступени ротора) ТМН.

Степень сжатия

На рис. 3 приведены кривые зависимости максимальной степени сжатия Кmax ТМН от давления для различных газов. В табл. 1 указаны типичные значения степени сжатия ТМН из каталогов различных производителей. Различия вуказанных значениях зависят от общей конструкции ТМН (диски, количество дисков, ступени дисков).

степень сжатия тмн

Рис. 3 Зависимости максимальной степени сжатия /fmax от форвакуум- ного давления при откачке различных газов турбомолекулярными насосами [12]: N2 азот; Не гелий; Н2 водород

Таблица 1. Значения максимальной степени сжатия Ктм типичных ТМН из каталогов различных производителей

Производитель

Откачиваемый газ

 

[9]

 

[10]

 

[11]

 

[12]

 

[13]

Н2

З х102...2 х103

1 х 103...2 х 104

8 х 102...1 х 105

1 х 102... 1 х 104

 4 x 102...8 x 103

Не

3 x 103...2 x 104

2 х 104... 1 х 106

6 x 102... 1 х 107

5 х 102...6 х 105

4 х 103...З х 105

N2

8 х107...1 х109

1 х 108. ..1 х 109

5 х 106...1 х 109

2 х 107...1 х 1010

5 х 107... 1 х 1010

Быстрота действия

На рис. 4 представлены рабочие характеристики ТМН (зависимости быстроты действия от впускного давления) для различных газов.
Маркировка модели ТМН часто включает в себя значение быстроты откачки азота, которая используется в качестве 100% величины. Эта величина сравнивается в табл. 2 с быстротой откачки Н2 и Не из каталогов различных производителей.

быстрота действия ТМН

Рис. 4. Рабочие характеристики (зависимости быстроты действия от впускного давления) турбомолекулярных насосов для различных газов: N2 азот; Не гелий; Н2 водород; Аr аргон

Таблица 2. Относительная быстрота действия турбомолекулярных насосов из каталогов различных производителей

Производитель

Откачиваемый газ

 [9]

[10]

[11]

[12]

[13]

н2(%)

34...63

96...133

57...98

79... 126

66... 115

Не (%)

60...80

 100...133

73...110

87...137

88... 124

N2(%)

100

100

100

100

100

Предельное остаточное давление

Предельное остаточное давление ТМН, как правило, находится в пределах от 10~10 и 10-9 мм рт. ст. благодаря использованию уплотнений металлических фланцев и двухступенчатого роторного форвакуумного насоса. Парциальное давление Н2 в системе перед заполненным маслом двухступенчатым форвакуумным насосом составляет приблизительно 5x10-7 мм рт. ст. Если значение Кmax для ТМН составляет 1000 и используя уравнение (4), можно ожидать, что предельное давление Н2 перед ТМН могло бы составлять 5x10 -10 мм рт. ст., что соответствует типичному значению предельного давления для этой комбинации насосов.
Состояние термической обработки ТМН и вид используемого уплотнительного материала оказывают влияние на предельное остаточное давление и состав остаточного газа. Для достижения только что упомянутых типичных значений предельного остаточного давления ТМН должен быть подвергнут термической обработке, а металл должен использоваться в качестве уплотнительного материала на стороне высокого вакуума для уменьшения десорбции газа с внутренних поверхностей и уплотнительного материала.

Группа РОСВАКУУМ

Адрес: 107023 Россия, г. Москва, Электрозаводская улица, 21

Часы работы офиса: с 9:00 до 18:00 по Москве.

 

Телефон: +7 (495) 664-22-07

E-mail: baza@vacuumpro.ru

 

Чтобы заказать бесплатный подбор оборудования, отправить заявку, запрос или получить консультацию инженеров - свяжитесь с нами по телефону или E-mail.

В базе 310 производителей и поставщиков вакуумного оборудования и техники (РФ, СНГ и зарубежные компании). Цены, наличие на складах и технические характеристики оборудования и техники уточняйте только по электронной почте E-mail.