Pfeiffer ATH
Продажа и обслуживание турбомолекулярных насосов Pfeiffer ATH. Турбомолекулярные установки Pfeiffer ATH являются высококлассными турбонасосами, достигающими высокой производительности, имея при этом две последовательные ступени. Первая - молекулярная, отличается высокой скоростью переработки вещества и созданием среды глубокого вакуума. Вторая - турбомолекулярная, обеспечивает усиленное сжатие и широкий спектр давлений. Ротор моделей этой серии оснащен магнитным подвесом, что положительно влияет на долговечность и частоту обслуживания.
Преимущества применения Pfeiffer ATН
- Пониженный уровень рабочего шума и вибраций.
- Создание вакуумной среды без применения смазочных материалов.
- Эргономичный корпус.
- Система магнитного подвеса, не требующая технического обслуживания.
- Установка в любой пространственной ориентации.
- Система регулирования ротора и оптимизации параметров работы.
- Интегрированный контролер.
Использование
- Установки, использующие HDPCVD процессы.
- Агрегаты напыления.
- Установки тонкого пленочного напыления и молекулярных покрытий.
- Исследовательское оборудование и прочие научные установки.
- Плавильные установки.
- Агрегаты ионной ректификации и травления.
- Устройства углубленного микромеханического травления.
- Предприятия производящие полупроводниковые материалы.
- Микроскопы и прочее электронное оборудование.
- Имитация космического пространства.
- Установки ускорения частиц.
- Лаборатории и исследовательские центры.
- Установки вакуумного отжига
Технические характеристики турболекулярных насосов Pfeiffer ATH
Характеристика |
Ед.изм. |
ATH |
ATH |
ATH |
ATH |
ATH |
ATH |
ATH |
ATH |
ATH |
ATH |
ATH |
||||||||
Скорость вращения ротора |
об/мин |
50 000 |
39 000 |
39 000 |
31 000 |
31 000 |
31 000 |
31 000 |
25 000 |
25 000 |
25 000 |
25 000 |
||||||||
Входной фланец |
DN |
DN |
DN |
DN |
DN |
DN |
DN |
DN |
DN |
DN |
DN |
DN |
DN |
DN |
DN |
DN |
DN |
DN |
||
Скорость откачки по: |
N2 |
л/с |
340 |
500 |
920 |
1250 |
920 |
1250 |
1200 |
1220 |
1230 |
1270 |
1250 |
1850 |
1250 |
1850 |
2050 |
2050 |
2600 |
2600 |
Ar |
л/с |
270 |
500 |
920 |
1250 |
920 |
1250 |
1100 |
1150 |
1130 |
1180 |
1200 |
1750 |
1200 |
1750 |
2000 |
2000 |
2400 |
2400 |
|
He |
л/с |
270 |
340 |
810 |
850 |
810 |
850 |
960 |
960 |
960 |
960 |
1500 |
1600 |
1500 |
1600 |
2150 |
2150 |
2400 |
2400 |
|
H2 |
л/с |
170 |
190 |
490 |
550 |
490 |
550 |
550 |
550 |
580 |
580 |
1200 |
1200 |
1200 |
1200 |
1750 |
1750 |
1800 |
1800 |
|
Степень сжатия |
N2 |
2*107 |
107 |
107 |
6*107 |
6*107 |
>108 |
>108 |
>108 |
>108 |
>108 |
>108 |
||||||||
Ar |
8*106 |
107 |
107 |
6*107 |
6*107 |
>108 |
>108 |
>108 |
>108 |
>108 |
>108 |
|||||||||
He |
104 |
103 |
103 |
8*103 |
8*103 |
>3*104 |
>3*104 |
>3*104 |
>3*104 |
>3*104 |
>3*104 |
|||||||||
H2 |
2*102 |
102 |
102 |
3*102 |
3*102 |
>103 |
>2*103 |
>2*103 |
>2*103 |
>2*103 |
>2*103 |
|||||||||
Предельное давление |
мбар |
<10-8 |
<6*10-9 |
<6*10-9 |
<6*10-9 |
<6*10-9 |
<6*10-9 |
<6*10-9 |
<6*10-9 |
<6*10-9 |
<6*10-9 |
<6*10-9 |
||||||||
Расход продувочного газа |
ст.см3/ |
50 |
50 |
50 |
50 |
50 |
50 |
50 |
50 |
50 |
50 |
50 |
||||||||
Макс. давление на всасывании |
мбар |
1,3 |
0,5 |
0,5 |
0,4 |
0,02 |
0,3 |
0,14 |
0,26 |
0,01 |
0,26 |
0,01 |
||||||||
Макс. давление на выхлопе |
мбар |
2,7 |
1,5 |
1,5 |
1,5 |
1,0 |
2 |
1,5 |
1,5 |
1,0 |
1,5 |
1,0 |
||||||||
Макс. откачиваемый поток |
ст.см3/ |
2500 |
3000 |
3000 |
4000 |
1000 |
4000 |
1000 |
5000 |
1000 |
5000 |
1000 |
||||||||
Макс. температура прогрева |
°С |
75 |
75 |
75 |
75 |
|
75 |
|||||||||||||
Макс. температура отжига |
°С |
120 |
120 |
120 |
90 |
120 |
90 |
120 |
120 |
120 |
120 |
120 |
||||||||
Уровень вибрации |
мкм |
0,01 |
0,01 |
0,01 |
0,01 |
0,01 |
0,01 |
0,01 |
0,01 |
0,01 |
0,01 |
0,01 |
||||||||
Параметры охлаждающей воды |
Расход <1л/мин, температура от 15°C до 25°C |
|||||||||||||||||||
Рабочее положение |
Любое |
|||||||||||||||||||
Выхлопной / Фланец продувки |
DN40 / продувка - DN16 |
|||||||||||||||||||
Время запуска |
мин. |
<2,5 |
<5 |
<5 |
6 |
6 |
8 |
8 |
10 |
10 |
10 |
10 |
||||||||
Вес турбины |
кг. |
17 |
34 |
34 |
34 |
34 |
60 |
60 |
85 |
85 |
85 |
85 |
||||||||
Контроллер |
Integrated |
ACT1300M |
ACT1300M |
Magpower/ |
ACT1300M/ |
Magpower/ |
Magpower/ |
Magpower |
Magpower |
Magpower |
Magpower |
|||||||||
Вес контроллера |
кг. |
8 |
8 |
8 |
8 |
8,7 |
8,7 |
8,7 |
8,7 |
8,7 |
8,7 |
|||||||||
Питание контроллера |
От 100 до 240В - 50/60Гц - однофазное |
Группа РОСВАКУУМ
Адрес: 107023 Россия, г. Москва, Электрозаводская улица, 21
Часы работы офиса: с 9:00 до 18:00 по Москве.
Телефон: +7 (495) 664-22-07
E-mail: baza@vacuumpro.ru
Чтобы заказать бесплатный подбор оборудования, отправить заявку, запрос или получить консультацию инженеров - свяжитесь с нами по телефону или E-mail.
В базе 310 производителей и поставщиков вакуумного оборудования и техники (РФ, СНГ и зарубежные компании). Цены, наличие на складах и технические характеристики оборудования и техники уточняйте только по электронной почте E-mail.