+7 (495) 664 22 07 baza@vacuumpro.ru

Pfeiffer ATH

Продажа и обслуживание турбомолекулярных насосов Pfeiffer ATH. Турбомолекулярные установки Pfeiffer ATH являются высококлассными турбонасосами, достигающими высокой производительности, имея при этом две последовательные ступени. Первая - молекулярная, отличается высокой скоростью переработки вещества и созданием среды глубокого вакуума. Вторая - турбомолекулярная, обеспечивает усиленное сжатие и широкий спектр давлений. Ротор моделей этой серии оснащен магнитным подвесом, что положительно влияет на долговечность и частоту обслуживания.

 

двухступенчатые турбомолекулярные насосы pfeiffer ath

 

Преимущества применения Pfeiffer ATН

  1. Пониженный уровень рабочего шума и вибраций.
  2. Создание вакуумной среды без применения смазочных материалов.
  3. Эргономичный корпус.
  4. Система магнитного подвеса, не требующая технического обслуживания.
  5. Установка в любой пространственной ориентации.
  6. Система регулирования ротора и оптимизации параметров работы.
  7. Интегрированный контролер.

 

Использование

  1. Установки, использующие HDPCVD процессы.
  2. Агрегаты напыления.
  3. Установки тонкого пленочного напыления и молекулярных покрытий.
  4. Исследовательское оборудование и прочие научные установки.
  5. Плавильные установки.
  6. Агрегаты ионной ректификации и травления.
  7. Устройства углубленного микромеханического травления.
  8. Предприятия производящие полупроводниковые материалы.
  9. Микроскопы и прочее электронное оборудование.
  10. Имитация космического пространства.
  11. Установки ускорения частиц.
  12. Лаборатории и исследовательские центры.
  13. Установки вакуумного отжига

 

Технические характеристики турболекулярных насосов Pfeiffer ATH

Характеристика

Ед.изм.

ATH
500M

ATH
1300M

ATH
1300MT*

ATH
1603M

ATH
1600MT

ATH
2303M

ATH
2300MT

ATH
2800M

ATH
2800MТ

ATH
3200M

ATH
3200MТ

Скорость вращения ротора

об/мин

50 000

39 000

39 000

31 000

31 000

31 000

31 000

25 000

25 000

25 000

25 000

Входной фланец 

 

DN 
100

DN 
160

DN 
160

DN 
200

DN 
160

DN 
200

DN
200

DN 
250

DN
200

DN
250

DN 
200

DN
250

DN 
200

DN 
200

DN 
250

DN 
250

DN 
320

DN 
320

Скорость откачки по:

N2

л/с

340

500

920

1250

920

1250

1200

1220

1230

1270

1250

1850

1250

1850

2050

2050

2600

2600

Ar

л/с

270

500

920

1250

920

1250

1100

1150

1130

1180

1200

1750

1200

1750

2000

2000

2400

2400

He

л/с

270

340

810

850

810

850

960

960

960

960

1500

1600

1500

1600

2150

2150

2400

2400

H2

л/с

170

190

490

550

490

550

550

550

580

580

1200

1200

1200

1200

1750

1750

1800

1800

Степень сжатия

N2

 

2*107

107

107

6*107

6*107

>108

>108

>108

>108

>108

>108

Ar

 

8*106

107

107

6*107

6*107

>108

>108

>108

>108

>108

>108

He

 

104

103

103

8*103

8*103

>3*104

>3*104

>3*104

>3*104

>3*104

>3*104

H2

 

2*102

102

102

3*102

3*102

>103

>2*103

>2*103

>2*103

>2*103

>2*103

Предельное давление

мбар

<10-8

<6*10-9

<6*10-9

<6*10-9

<6*10-9

<6*10-9

<6*10-9

<6*10-9

<6*10-9

<6*10-9

<6*10-9

Расход продувочного газа

ст.см3/
мин.

50

50

50

50

50

50

50

50

50

50

50

Макс. давление на всасывании

мбар

1,3

0,5

0,5

0,4

0,02

0,3

0,14

0,26

0,01

0,26

0,01

Макс. давление на выхлопе

мбар

2,7

1,5

1,5

1,5

1,0

2

1,5

1,5

1,0

1,5

1,0

Макс. откачиваемый поток

ст.см3/
мин.

2500

3000

3000

4000

1000

4000

1000

5000

1000

5000

1000

Макс. температура прогрева

°С

   

75

 

75

 

75

 

75

 

75

Макс. температура отжига

°С

120

120

120

90

120

90

120

120

120

120

120

Уровень вибрации

мкм

0,01

0,01

0,01

0,01

0,01

0,01

0,01

0,01

0,01

0,01

0,01

Параметры охлаждающей воды

 

Расход <1л/мин, температура от 15°C до 25°C

Рабочее положение

 

Любое

Выхлопной / Фланец продувки

 

DN40 / продувка - DN16

Время запуска

мин.

<2,5

<5

<5

6

6

8

8

10

10

10

10

Вес турбины

кг.

17

34

34

34

34

60

60

85

85

85

85

Контроллер

 

Integrated

ACT1300M

ACT1300M

Magpower/
OBC

ACT1300M/
OBC

Magpower/
OBC

Magpower/
OBC

Magpower

Magpower

Magpower

Magpower

Вес контроллера

кг.

 

8

8

8

8

8,7

8,7

8,7

8,7

8,7

8,7

Питание контроллера

 

От 100 до 240В - 50/60Гц - однофазное

Группа РОСВАКУУМ

Адрес: 107023 Россия, г. Москва, Электрозаводская улица, 21

Часы работы офиса: с 9:00 до 18:00 по Москве.

 

Телефон: +7 (495) 664-22-07

E-mail: baza@vacuumpro.ru

 

Чтобы заказать бесплатный подбор оборудования, отправить заявку, запрос или получить консультацию инженеров - свяжитесь с нами по телефону или E-mail.

В базе 310 производителей и поставщиков вакуумного оборудования и техники (РФ, СНГ и зарубежные компании). Цены, наличие на складах и технические характеристики оборудования и техники уточняйте только по электронной почте E-mail.