Вакуумные системы и установки с турбомолекулярным и высоковакуумным молекулярным насосами

Турбомолекулярные насосы имеют хорошую быстроту действия, но верхний предел форваку- умного давления на уровне, близком к 0,1 мбар. По сравнению с ними высоковакуумные молекулярные насосы могут работать при значительно более высоком форвакуумном давлении, равном приблизительно 10 мм рт. ст. и выше, но, безусловно, с более низкой быстротой действия. Комбинация двух типов насосов будет обеспечивать преимущество системы установки, вакуумные насосы высокой быстроты действия турбомолекулярного насоса на первой ступени, за которой будет следовать высоковакуумный молекулярный насос с меньшей быстротой, но высокой степенью сжатия на второй ступени. В результате получается форвакуумное давлении на два порядка выше, чем при использовании обычных турбомолекулярных насосов.

Конструкция комбинированного насоса

В этой насосной системе можно использовать простые маленькие, сухие и недорогие форвакуумные насосы (например диафрагменные насосы), поэтому возможна сухая откачки от атмосферного до предельного остаточного давления.

Общепринятой практикой является размещение всех вращающихся элементов комбинированного насоса на одном валу, как показано на рис. 8. Если компоненты располагаются слишком близко друг к другу, газовый канал от одного к следующему будет коротким для того, чтобы обеспечить хорошую проводимость потока. Для компонентов комбинированных насосов действительными являются конструктивные соображения и эксплуатационные характеристики, которые приведены в подразделах 2.6.1.3, 2.6.1.4 и 2.6.2. Для большинства видов применения этих насосов обычной является высокая производительность. Важно избегать любого повышения давления, вызываемого ограничивающими проводимость отверстиями внутри и между компонентами насоса. Аналогичным же образом следует контролировать повышение температуры от нагревания, вызываемого трением газа. Допустимое форвакуумное давление выше, если механические пространства в вакуумных каналах узкие. Это создает требование ограничения повышения температуры. С другой стороны, высокие значения рабочей температуры используются для уменьшения нежелательных реакций или осаждения из откачиваемой среды. Таким образом, тщательный контроль температуры - это важная особенность конструкции комбинированных насосов.

комбинированный насос

Рис. 8. Комбинированный насос (источник: Pfeiffer Vacuum):
Турбомолекулярный насос:
1 - высоковакуумный фланец
2 - ступень первого диска ротора
3 - ступень первого диска статора Высоковакуумный молекулярный насос:
4 - ступень цилиндрического ротора
5 - ступень статора с резьбой 8 — форвакуумный фланец
Подвеска ротора:
6- магнитный подшипник
7- магнитный радиальный подшипник
10 - шариковый подшипник безопасности
11 - датчики положения
12- электрическое соединение

Эти комбинированные насосы существуют в разных вариантах конструкции и модификациях:

  1. Ступени ТМН + многоступенчатый ВМН (дискового типа, производный от Gaede): высокое допустимое впускное давление;
  2. Ступени ТМН + многоступенчатый ВМН (барабанноготипа, производный от Holweck): высокое допустимое впускное давление;
  3. Комплектный ТМН + многоступенчатый ВМН (барабанного типа, производный от Holweck): высокое допустимое впускное давление и очень низкое предельное остаточное давление.

Типичные параметры вакуума комбинированных насосов

Типичные технические характеристики комбинированных насосов приводятся в табл. 5 и 6.

Таблица 5. Степень сжатия ВМН

Откачиваемый газ

Производитель [9, 10, 11, 13]

H2

2х 103... 1 х I07

Не

7х 103...2х 109

N2

5х 107... 1 х 1012

 Таблица 6. Быстрота действия ВМН

Откачиваемый газ

Производитель [9, 10, 11, 13]

H2(%)

24... 133

Не (%)

50...133

N2(%)

100

Группа РОСВАКУУМ

Адрес: 107023 Россия, г. Москва, Электрозаводская улица, 21

Часы работы офиса: с 9:00 до 18:00 по Москве.

 

Телефон: +7 (495) 664-22-07

E-mail: baza@vacuumpro.ru

 

Чтобы заказать бесплатный подбор оборудования, отправить заявку, запрос или получить консультацию инженеров - свяжитесь с нами по телефону или E-mail.

В базе 310 производителей и поставщиков вакуумного оборудования и техники (РФ, СНГ и зарубежные компании). Цены, наличие на складах и технические характеристики оборудования и техники уточняйте только по электронной почте E-mail.