Высоковакуумные турбомолекулярные насосы

Высоковакуумный турбомолекулярный насос работает по тем же принципам, что ТМН. Откачиваемые молекулы получают импульс от быстро движущейся поверхности ротора. Поэтому теоретические соображения во многом совпадают.

Конструкция

Высоковакуумные молекулярные насосы конструируются на основе принципа Холвека [3]. Эти насосы включают две различные секции: 1) входную секцию с рядом лопастей ТМН для максимальной проводимости в целях обеспечения высокой быстроты действия; 2) последующие молекулярные ступени откачки (до 5), имеющие барабанную конструкцию со спиральным строением канавок в целях обеспечения эффективности откачки и высокой степени сжатия (рис. 7).

втмн

Рис. 7. Высоковакуумный молекулярный насос (источник: Pfeiffer Vacuum):
1 - высоковакуумный фланец; 2 - турбодиск для усиления объемной скорости; 3 - статор насоса с резьбой - пять ступеней; 4 - цилиндры ротора насоса; 5 - фланец FV; 6 - гнездо для электрического разъема; 7 - резервуар смазочного вещества; 8 - входное отверстие продувочного газа; 9 - подшипник постоянного магнита; 10 - шариковый подшипник безопасности.

Эксплуатационные характеристики типичных BMН

Коммерческие ВТН, такие как высоковакуумный турбомолекулярный насос TwisTorr 84 FS, имеют высокое допустимое форвакуумное давление, от 1 до 40 мм рт. ст., в зависимости от конструкции и количества ступеней, поэтому могут использовать простые, сухие и недорогие форвакуумные насосы (например диафрагменные насосы).

Типичные эксплуатационные характеристики ВМН приводятся в табл. 3 и 4.

Предельное остаточное давление

В зависимости от того, сколько ступеней молекулярной откачки используется последовательно, достигаемое предельное остаточное давление находится в диапазоне от 10-7 до 10-7 мм рт. ст. при условии использования соответствующего диафрагменного форвакуумного насоса.

Таблица 3. Степень сжатия высоковакуумных молекулярных насосов

Откачиваемый газ

Производитель [9, 10]

Н2

2 х 102...1 x 103

Не

1 х 103...2 х 104

N2

1 х 107... 1 х 109

 Таблица 4. Быстрота действия высоковакуумных молекулярных насосов

Откачиваемый газ

Производитель [9, 10]

Н2(%)

40...56

Не (%)

53...67

N2(%)

100

Группа РОСВАКУУМ

Адрес: 107023 Россия, г. Москва, Электрозаводская улица, 21

Часы работы офиса: с 9:00 до 18:00 по Москве.

 

Телефон: +7 (495) 664-22-07

E-mail: baza@vacuumpro.ru

 

Чтобы заказать бесплатный подбор оборудования, отправить заявку, запрос или получить консультацию инженеров - свяжитесь с нами по телефону или E-mail.

В базе 310 производителей и поставщиков вакуумного оборудования и техники (РФ, СНГ и зарубежные компании). Цены, наличие на складах и технические характеристики оборудования и техники уточняйте только по электронной почте E-mail.