+7 (495) 664 22 07 baza@vacuumpro.ru

Откачка камеры

Вакуумные насосы используются для двух несколько отличных друг от друга операций. Первая операция предполагает удаление газа (обычно воздуха) из сосуда, другая - поддержание остаточного давления при данном газовыделении. Трудно выбрать правильный размер насоса с какой-либо степенью точности для обоих видов применения, когда требующееся давление находится в области высокого вакуума. В первом случае это связано с неопределенностью скоростей газовыделения из поверхности, которые зависят от температуры, влажности во время воздействия атмосферы и присутствия адсорбированных газов в стенках камеры. Водяной пар является обычной проблемой. Во втором случае газовыделение является неопределенной величиной в силу колебания содержания газа в материалах и вариаций технических параметров. Например, когда для испарения используются электронные лучи, распределение мощности в фокусном пятне непросто воспроизвести. Это может создавать колебания степени нагревания поверхностей рядом с электронной пушкой.

В качестве очень приближенного правила для испарения, плавления, сварки или напыления металлов на каждый киловатт мощности, используемой для процесса, необходимо предусмотреть быстроту откачки, равную 100 л/с.

Как правило, вы не ошибетесь, если будете использовать большой насос. Распространенной практикой является применение пароструйного насоса диаметром 25 см в большой системе с вакуумным колпаком для получения быстроты откачки системы, превышающей 1000 л/с. Тридцать лет назад быстрота откачки составляла только 500 л/с. Эти различия не имеют значения для улучшения времени откачки системы, но они помогают поддерживать более низкие значения остаточного давления. Что касается времени откачки, разница между насосами диаметром 15 или 25 см является едва ли заметной. Когда учитывается выделение газа, время откачки не является обратно пропорциональным быстроте откачки, как можно было бы ожидать, исходя из опыта при более высоких значениях давления. Однако при быстром газовыделении технологическое давление и быстрота откачки часто находятся в обратной зависимости.

В некоторых случаях, в частности при напылении материалов, становится важен максимальный поток газа, потому что с точки зрения технологического процесса, может быть, необходимо иметь определенный поток аргона в системе. На первых этапах откачки высокая быстрота откачки будет иметь меньшее значение. В некоторых случаях систему откачивают при полностью открытом клапане насоса до данного базового давления и затем дросселируют, чтобы получить давления аргона и быстроту откачки, соответствующие спецификациям без превышения допустимой производительности насосов. После снижения быстроты откачки возможно увеличение уровня загрязнений в системе.

Нет товаров, соответствующих выбору

Страница в разработке - прямо сейчас здесь нет актуальных товаров, соответствующих вашему выбору.
Но у нас есть эта техника. Поэтому свяжитесь с нами по телефону или Email за информацией.