+7 (495) 664 22 07 baza@vacuumpro.ru

Влияние давления на обратный поток

Начиная с самых низких значений давления до 10-4 Торр, скорость обратного потока, по всей видимости, не зависит от давления, что свидетельствует о незначительном влиянии молекул масла и газа в этой области. В диапазоне от 10-4 до 10-3 Торр может быть замечено небольшое увеличение числа столкновений [12]. Выше критической точки давления, когда достигается максимальная производительность (быстрота откачки начинает уменьшаться), скорость обратного потока может заметно повыситься.

Измерения скорости обратного потока при различных значениях впускного давления, выполненные при неблагоприятных условиях, представлены на графике (рис. 17). Указанные испытания были проведены с использованием собирающей поверхности, расположенной в непосредственной близости от верхнего сопла. Если бы измерения были выполнены во входном сечении, как предусмотрено Рекомендуемой практикой Американского вакуумного общества, скорость была бы в 10 или 100 раз ниже. Можно видеть, что скорость значительно не уменьшится, пока впускное давление ниже приблизительно 10-3 Торр. Это именно та точка, где у большинства пароструйных насосов происходит внезапное уменьшение быстроты действия, свидетельствующее о том, что верхняя струя, в сущности, прекращает откачку.

влияние впускного давления

Рис. 17. Измерения скорости обратного потока при различных значениях впускного давления

Неожиданное увеличение обратного потока при значениях впускного давления выше 10-3 Торр показывает, что пароструйный насос должен эксплуатироваться в этом диапазоне только короткое время. При эксплуатации вакуумной системы широко распространенной практикой является открытие высоковакуумного клапана после того, как камера будет откачана в режиме предварительного разрежения приблизительно до 10-1 Торр, после чего подключают высоковакуумный насос. Продолжительная эксплуатация при высоком давлении может направить недопустимо большие количества масла в вакуумную систему.

условия на впуске

Рис. 18. Условия более высокого давления, существующие на впуске в насос

Условия более высокого давления существуют на впуске в насос в течение короткого промежутка времени после того, как будет открыт высоковакуумный клапан. Если пароструйный насос сильно не перегружен, пик соответствующего обратного потока обычно длится только несколько секунд. То же самое состояние будет существовать, когда насос будет первоначально нагрет. В этом случае продолжительность пика составляет несколько минут, а амплитуда в несколько раз выше, чем установившийся обратный потока при более низких значениях давления. Обобщенная картина показана на рис. 18. При значениях давления выше 0,5 Торр в зависимости от давления и длины каналов пар рабочей жидкости может проникать обратно в насос. Это можно использовать для уменьшения первоначального обратного потока и предотвращения обратного потока механического насоса путем нагнетания потока воздуха (или другого газа) через напускной клапан.

Влияние работы механического насоса

Другая возможность загрязнения углеводородами связана с насосом предварительного разрежения. Такой насос не должен оставаться подсоединенным к системе на продолжительные периоды времени. После первоначального разрежения форвакуумный клапан нужно закрыть и откачку переключить на пароструйный насос.

В системах, где используется только механический насос для поддержания вакуума в пределах от 10-2 до 10-1 Торр, иногда рекомендуется вести откачку периодически, а не постоянно. Для запуска и остановки откачки всякий раз, когда необходимо, требуется клапан и вакуумметр. Это предотвращает непрерывную обратную диффузию смазочного масла, и, кроме этого, поддерживает масло в холодном состоянии, уменьшая давление его паров.

Группа РОСВАКУУМ

Адрес: 107023 Россия, г. Москва, Электрозаводская улица, 21

Часы работы офиса: с 9:00 до 18:00 по Москве.

 

Телефон: +7 (495) 664-22-07

E-mail: baza@vacuumpro.ru

 

Чтобы заказать бесплатный подбор оборудования, отправить заявку, запрос или получить консультацию инженеров - свяжитесь с нами по телефону или E-mail.

В базе 310 производителей и поставщиков вакуумного оборудования и техники (РФ, СНГ и зарубежные компании). Цены, наличие на складах и технические характеристики оборудования и техники уточняйте только по электронной почте E-mail.