Загрязняющие вещества и процесс загрязнения
Вакуумная система часто используется для некоторых типов обработки, в частности, таких как вакуумная термическая обработка, сушка вымораживанием или нанесение покрытия осаждением паров (PVD). Загрязняющее вещество — это материал на поверхности или в газовой фазе, который мешает обработке или приводит к получению неприемлемой продукции. В качестве практического вопроса «чистая» поверхность — это поверхность, не содержащая никаких значительных количеств загрязнения; таким образом, то, что представляет собой чистую поверхность, зависит от требований. Для обработки с нанесением покрытия осаждением паров общее загрязнение, в частности такое, как поверхностный слой, может вызывать низкую плотность нуклеации осаждающейся пленки, приводя к слабой общей адгезии пленки к поверхности и препятствуя хорошему электрическому контакту в случае наносимых электрических контактов. Местное загрязнение (пленка или частица) может приводить к локально слабой адгезии пленки к поверхности, создавая точечные проколы в пленке. Например, на рис. 1 показано воздействие загрязнения частицами на образование точечных проколов в тонкой нанесенной вакуумом пленке, в частности такой, как зеркальное покрытие или металлизация полупроводников. Если частица отделяется в вакуумной системе («шелушение точечных проколов»), она образует в системе загрязнение частицами. Очистка должна решать вопросы, связанные с локальными условиями поверхности, в частности такими, как пористость, заложенные частицы, ступеньки, шероховатость и т. д., которые сказываются на свойствах пленки, образуют точечные проколы и локальную потерю адгезии. Загрязняющие вещества в вакуумной системе можно разделить на следующие категории:
• газовое загрязнение (например, остаточные газы);
• паровое загрязнение (например водяной пар, масляные пары);
• жидкостное загрязнение (например масла на поверхностях);
• твердое загрязнение (например органические и неорганические частицы).
Загрязнение, связанное с системой, - это загрязнение, источником которого является вакуумная система. Загрязнение, связанное с процессом, — это загрязнение, относящееся к обрабатываемому материалу и материалам или приспособлениям, используемым в обработке и «привносимым» в вакуумную систему.
Рис. 1 Образование точечных проколов и шелушение материала вследствие осаждения частиц на поверхности
Группа РОСВАКУУМ
Адрес: 107023 Россия, г. Москва, Электрозаводская улица, 21
Часы работы офиса: с 9:00 до 18:00 по Москве.
Телефон: +7 (495) 664-22-07
E-mail: baza@vacuumpro.ru
Чтобы заказать бесплатный подбор оборудования, отправить заявку, запрос или получить консультацию инженеров - свяжитесь с нами по телефону или E-mail.
В базе 310 производителей и поставщиков вакуумного оборудования и техники (РФ, СНГ и зарубежные компании). Цены, наличие на складах и технические характеристики оборудования и техники уточняйте только по электронной почте E-mail.