Edwards nEXT

Обслуживание и продажа турбомолекулярных насосов Edwards nEXT. Турбомолекулярные установки компании Edwards обеспечивают эффективную работу и скорость откачки от 250 до 400 лошадиных сил. Степень сжатия гелия(Не) у установок Edwards nEXT составляет насосов от 3х10⁵ до 1х10⁸. Благодаря инновационным техническим решениям, в насосах данное серии удалось достигнуть высокого уровня давления, которое составляет 7,2х10² - 2х10³ Па, по гелию(Не).

Особенности

В турбомолекулярных установках Edwards nEXT использована гибридная система подшипников ротора. В нижней части насоса установлен керамический подшипник, в верхней специальная магнитная система подвеса. Данное решение позволяет добиться высокой скорости откачивания и сжатия. Интегрированный привод обеспечивает надежную работу при напряжении от 24 до 48 V постоянного тока, позволяя интегрировать установки Edwards в линии использующие контролеры TIC или TAG. Заводская установка потребления мощности в турбомолекулярных установках nEXT 80 Вт или 160 Вт.

Преимущества

1. Интегрированная система контроля работы установки.
2. Повышенная скорость работы, эффективное сжатие и откачка рабочего вещества.
3. Простое техническое обслуживание, не требующее балансировки.
4. Система подшипников не требует использования смазочных материалов.

Сферы применения

1. Микроэлектроника.
2. Полупроводниковая промышленность.
3. Научные приборы, разрабатываемые для исследования электрофизических свойств микроструктур.
4. Ускорители.
5. Плазменное травление.
6. Напыление плёнок.
7. Ионная имплантация.
   
   

Технические характеристики турбомолекулярных насосов Edwards nEXT