Применение масс-спектрометров в вакуумных системах

Наиболее серьезным недостатком вакуумметров общего давления является то, что они не предоставляют фактически никакой информации о химическом составе газовой среды в вакуумной системе. Отсутствие данных о парциальном давлении как части общего представляет собой огромный недостаток системы диагностики, поэтому для нормальной эксплуатации вакуумная система должна иметь масс-спектрометр (который также называют анализатором остаточных газов или анализатором парциального давления). Прежде всего, он имеет встроенную функцию течеискания, необходимую для подтверждения герметичности вакуумной системы. Во-вторых, он измеряет состояние чистоты системы, показывая парциальное давление и виды остаточных газов. В-третьих, он является исследовательским инструментом, предоставляющим многочисленные диагностические возможности, в частности такие, как определение чистоты газа, десорбции газа из конкретных элементов системы, а также изменения в состоянии газов, происходящие во время различных процессов.