Допустимое выпускное давление пароструйного насоса

Не следует путать допустимое форвакуумное давление (максимальное допустимое выпускное давление) и максимальный перепад давлений, достигаемый данным насосом. Допустимое выпускное давление прямо связано с давлением пара в кипятильнике, в то время как перепад давлений характеризуется логарифмической зависимостью от плотности пара в струе. Это различие представлено на рис. 12. Для воздуха максимальный перепад давлений обычно является таким высоким, что его нельзя измерить при нормальных обстоятельствах. Только когда впускное давление меньше 10-10 Торр, можно соблюсти зависимость между выпускным и впускным давлением. Однако для водорода и гелия зависимость может существовать в условиях высокого вакуума.

зависимость давления от плотности пара

Рис. 12. Зависимость между давлением на впуске и в кипятильнике и логарифмическая зависимость перепада давления от плотности пара в струе

Воздействие колебания давления в кипятильнике на эффективность работы насоса представлено на рис. 12. В силу прямой зависимости небольшие изменения плотности струи пара могут вызвать сильные колебания максимального перепада давления.

В тех случаях, когда требуется стабильное давление более легких газов, необходим постоянный мониторинг. Обычные насосы часто демонстрируют колебания впускного давления, превышающие в случае гелия 5 %. Это неприемлемо для некоторых случаев применения, в частности таких, как высокочувствительные вакуумные течеи- скатели (детекторы утечки) масс-спектрометра и аналитические масс-спектрометры, где гелий используется либо в качестве радиоактивного индикатора или газа-носителя. Таким образом, могут потребоваться специальные конструкции насосов, имеющие очень высокое стабильное давление кипятильника с контролем мощности и стабильным откачивающим действием.

Если рассматривать быстроту действия, можно отметить, что рабочие характеристики насосов для гелия и водорода могут характеризоваться довольно-таки большим углом наклона при значениях, близких к величине теплоты пара на выпуске (100%). Поэтому если происходят колебания плотности пара, они могут приводить к заметным колебаниям быстроты действия по этим газам.

Допустимое выпускное давление для различных газов

Допустимое выпускное давление для различных газов является приблизительно одинаковым, если предполагается полное разрушение паровой струи (последняя ступень). Однако при входе более легких газов во впуск насоса, а затем в форвакуумную линию воздействие максимального перепада давления становится заметным.

Результаты измерений перепада давлений показаны на рис. 13. Данные были получены путем напуска гелия в форвакуумную линию насоса и наблюдения результирующего воздействия на впускное давление. Верхняя кривая представляет более старый 5-сантиметровый насос. Сравнение двух насосов показывает тысячекратное улучшение максимального перепада давлений, которое может сохраняться в насосе.

перепад давлений

Рис. 13. Результаты измерений перепада давления

Для старого насоса трудно установить допустимое выпускное давление гелия при значениях впускного давления ниже 10-6 Торр. По данным для нового насоса можно сделать предположительный вывод о допустимом выпускном давлении для гелия 0,6 Торр. Для воздуха этот насос имеет почти такое же значение допустимого выпускного давления.

Группа РОСВАКУУМ

Адрес: 107023 Россия, г. Москва, Электрозаводская улица, 21

Часы работы офиса: с 9:00 до 18:00 по Москве.

 

Телефон: +7 (495) 664-22-07

E-mail: baza@vacuumpro.ru

 

Чтобы заказать бесплатный подбор оборудования, отправить заявку, запрос или получить консультацию инженеров - свяжитесь с нами по телефону или E-mail.

В базе 310 производителей и поставщиков вакуумного оборудования и техники (РФ, СНГ и зарубежные компании). Цены, наличие на складах и технические характеристики оборудования и техники уточняйте только по электронной почте E-mail.