Двухроторные насосы с обратной подачей холодного газа

Конструкция двухроторных насосов с обратной подачей холодного газа позволяет холодному воздуху входить в захваченный объем, где он смешивается с газом на выпуске и уменьшает его температуру. Эти насосы, как правило, используются при значениях давления 200 Торр и выше. Они также могут применяться и при более низких значениях давления. Преимуществом этих вакуумных насосов является то, что при более высоких значениях давления они могут поддерживать степень сжатия 4:1 по сравнению с 2,2:1 для неохлаждаемых насосов. Эта особенность позволяет исключить одну ступень из системы двухроторных насосов с выпуском в атмосферу или в случае, когда эти насосы используются в качестве форвакуумных при последовательном соединении. Недостатком является высокое потребление мощности.

Для обратной подачи может использоваться атмосферный воздух или специальные газы, которые должны быть сохранены, тогда часть выпущенного газа выпуска подается обратно через охладитель (рис. 12).

Рис. 12. Вакуумные системы с обратной подачей холодного газа: а - система рециркуляции откачанного газа; 6- охлаждение атмосферным воздухом.