Клапанная система откачи

Во всех случаях циклической работы системы используется клапанная система откачки. Схема такой системы представлена на рис. 8. Она позволяет изолировать высоковакуумный насос от рабочей камеры по завершении откачки и перед впуском воздуха. Поэтому насос остается при рабочей температуре и давлении в течение периодов, когда камера находится на уровне атмосферного давления и во время низковакуумной откачивающей части цикла. От продолжительности этих периодов зависит применение форвакуумного насоса. Главный изоляционный клапан также позволяет непрерывно работать криогенной перегородке между насосом и впуском высоковакуумного насоса. Однако ни работа криоперегородки, ни быстрая смена цикла невозможны без клапана из-за малого времени между охлаждением и нагреванием пароструйного насоса и охлаждением и повторным нагреванием криоперегородки. Разумная эксплуатация главного клапана при переключении с низковакуумных насосов на пароструйные насосы может значительно сократить обратную миграцию паров масла в рабочую камеру. Клапанные системы, как правило, ограничиваются значениями рабочего давления в диапазоне 10^-8 Торр и выше. Большинство крупных клапанов создают в системе слишком высокое газовыделение, чтобы позволить ей работать при значениях давления ниже 10^-8 Торр.

В клапанных системах поиск течей выполнять значительно легче, а ремонтные процедуры, как правило, требуют меньше времени, чем в бесклапанных системах. Однако отмечаются следующие недостатки. Клапанные системы первоначально более дорогие, в особенности когда речь идет о больших клапанах. Кроме того, применение клапанов неизбежно усложняет систему и приводит к меньшей быстроте откачки камеры. Для работы при давлениях ниже 10^-8-10^-9 Торр с большими термообрабатываемыми, сверхвысоковакуумными камерами наличие и/или стоимость клапанов может сделать их применение нецелесообразным.

Рис. 8. Схема типичной вакуумной системы с высоковакуумным клапаном