TURBOVAC MAGdigital
Турбомолекулярные насосы TURBOVAC MAGdigital. Установки турбомолекулярного типа TURBOVAC MAGdigital с системой магнитного крепления подшипников ротора, функционируют под давлением в системе от 10-1 миллибар до 10-10 миллибар. Скорость работы TURBOVAC MAG digital варьируется от 300 лошадиных сил до 3200 лошадиных сил. Оборудование TURBOVAC MAG digital применяется в сферах производства, важной потребностью которых является низкий уровень рабочего шума, минимальная вибрация или возможность создания вакуумной линии без использования углеводорода. Установки этой серии также используются при работе с агрессивными газами, аналитическими приборами, исследовательским оборудованием и агрегатами, используемыми при разработке. Дополнительной комплектующей деталью данной серии является дожимающая ступень.
Преимущества
- Высокая и сверхвысокая чистота вакуума.
- Надежное решение для сложных полупроводниковых процессов.
- Монтаж установки в любом положении.
- Хорошая совместимость с форвакуумными насосами.
- Длительный срок службы.
- Скорость работы до 3200л\с.
- Система магнитного подшипника ротора.
- Наличие дожимающей ступени (Хольвега).
- Надежное исполнение, реализующее высокую быстроту действия и высокие степени сжатия для различных газов.
- Простота интеграции в системы.
- Наличие системы контроля температуры насосов.
- Поддержка постоянной температуры насоса.
- Компактное решение с низким уровнем вибрации и раздельным частотным преобразователем.
- Низкие эксплуатационные расходы.
Технические характеристики турбомолекулярных насосов TURBOVAC MAGdigital
Характеристика |
TURBOVAC MAGdigital 300 |
TURBOVAC MAGdigital 400 |
TURBOVAC MAGdigital 600 |
TURBOVAC MAGdigital 700 |
TURBOVAC MAGdigital 1300 |
TURBOVAC MAGdigital 2000 C/CT |
TURBOVAC MAGdigital 2800 |
TURBOVAC MAGdigital 3200 CT |
||
Скорость откачки, л/с |
||||||||||
N2 |
300 |
365 |
550 |
590 |
1170 |
1760 |
2400 |
3200 |
||
Ar |
260 |
330 |
520 |
540 |
1100 |
1650 |
2450 |
3000 |
||
He |
260 |
280 |
570 |
600 |
1150 |
1800 |
2650 |
3000 |
||
H2 |
190 |
200 |
410 |
430 |
1020 |
1500 |
2100 |
2250 |
||
Скорость откачки газа, мбар х л/с |
||||||||||
N2 |
7,0 |
9,0 |
— |
— |
— |
— |
||||
Предельное давление, мбар |
1х10-8 |
1х10-10 |
1х10-8 |
1х10-10 |
1х10-10 |
1х10-8 |
1х10-10 |
1х10-8 |
||
Скорость вращения, об/мин |
58000 |
48000 |
36000 |
28800 |
||||||
Время разгона, мин |
5,0 |
6,0
|
8.0 |
10,0 |
||||||
Потребляемая мощность max, В |
400,0 |
1100 |
1800 |
|||||||
Расход воды на охлаждение, л/ч |
60,0 |
120-350 |
||||||||
Вес, кг |
12,0 |
17,0 |
|
32,0 |
68,0 |
75,0 |
65,0 |
Группа РОСВАКУУМ
Адрес: 107023 Россия, г. Москва, Электрозаводская улица, 21
Часы работы офиса: с 9:00 до 18:00 по Москве.
Телефон: +7 (495) 664-22-07
E-mail: baza@vacuumpro.ru
Чтобы заказать бесплатный подбор оборудования, отправить заявку, запрос или получить консультацию инженеров - свяжитесь с нами по телефону или E-mail.
В базе 310 производителей и поставщиков вакуумного оборудования и техники (РФ, СНГ и зарубежные компании). Цены, наличие на складах и технические характеристики оборудования и техники уточняйте только по электронной почте E-mail.