Мембранные вакуумметры

Если компенсированные капсульные или диафрагменные механизмы сочетаются с соответствующими электронными измерительными цепями, достигается увеличение эффективности и точности измерений. Одной такой схемой является вакуумметр с емкостной мембраной (мембранно-емкостный или деформационный вакуумметр).

На рис. 6 показаны характерные особенности вакуумметра с емкостной мембраной.

Рис. 6. Мембранные вакуумметры.

Гибкая мембрана образует одну пластину конденсатора, а фиксированный щуп - другую. Изменение давления деформирует гибкую мембрану, которая изменяет емкость, преобразуемую в показание давления. Чувствительность, повторяемость показаний и простота этого вакуумметра позволяют использовать вакуумметр данного типа в качестве стандарта для измерений давления от 10^-6 мм рт. ст. до атмосферного давления. В одной головке можно получить динамический диапазон четырех или пяти порядков.

На рис. 6 также схематично показан мембранно-деформационный вакуумметр с тензометром. В этом случае деформация мембраны вызывает пропорциональный выходной сигнал от подсоединенного тензометра. Чувствительность и динамический диапазон, как правило, бывают меньше чувствительности и динамического диапазона вакуумметра с емкостной мембраной. Однако цена мембранно-деформационного вакуумметра, как правило, ниже.

Оба этих вакуумметра при своей высокой чувствительности склонны к погрешностям, вызываемым даже малыми изменениями температуры. Термически контролируемые головки или корректировочные таблицы, встроенные в электронику, использовались для минимизации этой проблемы. Другими источниками погрешности во всех вакуумметрах с твердой стенкой являются гистерезис и усталость металла.

Каталог вакуумметров мембранного(емкостного) типа