Предельное остаточное давление вакуумного насоса

Предельное остаточное давление высоковакуумного насоса в системе достигается, когда дальнейшая откачка приводит только к незначительному снижению давления. Суммарное остаточное давление состоит из значений парциальных давлений различных газов, присутствующих в системе. В объемных насосах, например низковакуумных, быстрота откачки для различных газов приблизительно является одинаковой. Однако в условиях молекулярного потока в высоковакуумном насосе удаление каждой частицы газа происходит с разной быстротой, поэтому предельное остаточное давление представляет собой сумму парциального давления различных газов, равную отношению натекания выделяющегося газа (потока газа) к быстроте действия насоса. Кроме того, предельное остаточное давление включает в себя элементы, связанные с самим насосом - давление паров рабочей жидкости или масла. Как правило, предельное остаточное давление насоса достигается, когда устанавливается равновесие между количеством газа, входящим в насос, и количеством газа, выходящим обратно (обратный поток).