Вакуумные насосы и вакуумная система

Существует два основных способа снижения давления или времени, необходимого для откачки камеры: увеличение быстроты откачки или уменьшение скорости газовыделения. В некоторых случаях будет дешевле предусмотреть дополнительные насосы, а не пытаться сокращать газовыделение. Это зависит от степени вакуума и других технологических требований. Для систем вакуумной дегазации очень низкого давления или сверхвысокого вакуума дегазация является единственным возможным подходом. Полезно уточнить следующие моменты, прежде чем задавать технические характеристики вакуумной системы или ее конструкцию. Производительность вакуумной системы при данном давлении обычно имеет большее значение, чем предельное остаточное давление; быстрота откачки камеры имеет большее значение, чем быстрота действия насоса; увеличение количества насосов в области высокого вакуума не обязательно уменьшает время откачки в той же самой пропорции; хорошо подобранные насосы, рабочие среды, перегородки и ловушки могут уменьшить или ликвидировать проблемы загрязнения: требования быстрой откачки приводят к удорожанию системы; продолжительное воздействие атмосферных условий на камеру увеличит скорость последующего выделения газа; не следует пренебрегать предшествующей термической обработкой камеры и распределением температур до и во время откачки; площадь поверхности вакуумной камеры имеет большее значение (при высоком вакууме), чем объем.